Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)

TU Dresden – IVT

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA

IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)

Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration – IZM ASSID

Fraunhofer-Institut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik IWU

Fraunhofer-Institut für Werkstoff und Strahltechnik (IWS)

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS

Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS)