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AIR LIQUIDE Electronics GmbH

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Target markets

Bulk Gases·Chemical Systems·Electronics Specialty Gases (ESG)·Gas Farms / Bulk Gas Tanks Systems·Gas Mixing Systems·Gas Supply Systems·Onsite Gas Generation (Air Separation Units)·SCADA·Toatal Gas and Chemical Management (TGCM)

Industries

Micro- / Nanoelektronics

Portfolio

Bulk Gases·Chemical Systems·Electronics Specialty Gases (ESG)·Equipment·Facilities·Gas Farms / Bulk Gas Tanks Systems·Gas Mixing Systems·Gas Supply Systems·Micro- / Nanoelektronics·Onsite Gas Generation (Air Separation Units)·photovoltaics·SCADA·Semiconductor Industry·Toatal Gas and Chemical Management (TGCM)

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Technologie

About this member

Die Air Liquide Electronics GmbH ist ein Tochterunternehmen der Air Liquide Deutschland GmbH und hat ihre Unternehmenszentrale in Ottendorf-Okrilla bei Dresden, Sachsen. Das Unternehmen ist ein Spezialist für die Produktion und Lieferung von Luft- und Bulkgasen sowie Spezialgasen für die Halbleiterindustrie und von Equipment für Gas- und

Chemieversorgungssysteme für die Halbleiter- sowie Photovoltaikindustrie in Deutschland, Österreich und der Schweiz. Air Liquide Electronics ist sowohl bei Weltkonzernen als auch bei mittleren und kleineren Unternehmen sowie Forschungseinrichtungen tätig. Aktuelle Aktivitäten sind auf die Entwicklung und Lieferung von neuartigen flüssigen Spezialgasen (Precursors) sowie von Wasserstofferzeugungsanlagen und Infrastruktursystemen gerichtet. Air Liquide Electronics ist Gründungsmitglied des Hightech-Netzwerks Silicon Saxony e. V.
Geschäftsbereiche

  • Luftzerlegung: Trennung von Luftgasen direkt vor Ort
  • Spezialgase, Halbleiterindustrie: Reinstgase und Gasgemische für die Semiconductor-Industrie
  • Precurser & High-End-Chemikalien: Individuelle Halbleiter-Prozesschemikalien
  • Services & Analyse: Betreuung Rund um die Uhr
  • Equipment & Installation: Entwicklung, Bau und Betrieb von Gaserzeugungsanlagen
  • Zwischenlagerung von Gasen: Gefahrgutlagerung mit 24/7-Überwachung

Zertifizierungen

  • ISO 9001 – Qualitätsmanagementsystem
  • ISO 14001 – Umweltmanagementsystem
  • ISO 45001 – Arbeitsschutzmanagementsystem
  • ISO 50001 – Energiemanagementsystem
Air Liquide tank farm for semiconductor fab

 Air Liquide is the worldwide market leader for industrial and medical gases. The business activities of the german subsidiary Air Liquide Electronics GmbH are focussed on the field of semiconductor and photovoltaic industry. The following products and services will be offered to semiconductor chip and solar panel manufacturers:

  • Delivering of high purity bulk gases (N2, H2, O2, He, Ar).
  • Delivering of electronic specialty gases (ESG´s) and gas mixtures for the different technological steps of the chip manufacturing process.
  • Developing, assembling and delivering of special equipment for the supply of high purity gases and chemicals, for example tank farms with air separation and tanks systems, ESG and chemical supply cabinets, high purity piping systems.
  • Operating and maintaining of installed gas and chemical supply systems by specialized operating teams (TGCM – Total Gas-/Chemical Management) at the custumer site directly.

Air Liquide Electronics GmbH has extensive activities both at major manufactures (Globalfoundries, Infineon, Bosch, QCells) and at medium-sized and smaller enterprises (XFAB, Calyxo) as well as research institutes (for example IHP Frankfurt/Oder). New operations of Air Liquide Electronics are focussed currently on the development and delivering of novel liquid ESG´s (precursors) and abatement systems for PFC destruction.

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