Mikroelektronik

AlixLabs: 300-Millimeter-Ausrüstung auf der SEMICON Japan vorgestellt

6. Dezember 2024. AlixLabs AB, ein schwedisches Halbleiter-Startup-Unternehmen, das sich auf Atomic Layer Etching (ALE) spezialisiert hat, kündigt seine Teilnahme an der SEMICON Japan 2024 an und gibt damit das öffentliche Debüt für die 300-Millimeter-Wafer-Prozesskammer des Unternehmens. Die APS™-Tools (ALE Pitch Splitting) von Made in Sweden sollen es der Halbleiterindustrie ermöglichen, auf nachhaltigere Weise auf Fertigungsprozesse mit einer Größe von weniger als 7 Nanometern zu skalieren, und stellen eine Alternative zu kostspieligen Lösungen mit doppelter Strukturierung oder EUV (Extreme Ultraviolet) dar.

Foto: AlixLabs

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AlixLabs APS™ wurde entwickelt, um die Kosten für die Herstellung von Sub-7-Nanometer-Produkten zu senken, bei denen Strukturgrößen von weniger als 20 Nanometern erforderlich sind. Mit APS™ lassen sich geschätzte Kosteneinsparungen von bis zu 40 Prozent pro Maskenebene erzielen, anstatt auf EUV-Lithografie und komplexe selbstausrichtende Multimusterverfahren zurückzugreifen.

„Während unser 300-Millimeter-Tool in unserem Labor auf Herz und Nieren geprüft wird, freuen wir uns darauf, es japanischen Kunden vorzuführen. Japan investiert stark in die Wiederbelebung seiner Halbleiterindustrie und möchte wieder zu einem führenden Akteur in diesem Geschäft werden. Mit APS™ können wir dazu beitragen, dies zu geringeren Kosten sowohl im Vorfeld als auch während der Massenproduktion zu erreichen, während wir gleichzeitig den CO2-Fußabdruck der Produktion senken“, sagt Amin Karimi, COO und F&E-Manager bei AlixLabs. „Auf der Messe freue ich mich persönlich darauf, bestehende und potenzielle Kunden zu treffen und Teil des japanischen Halbleiter-Booms zu sein. Wir haben großes Interesse von japanischen Kunden, und das ist der richtige Ort für uns.“

APS™ und die damit verbundenen Made in Sweden-Tools können bereits 20-Nanometer-Halbtonlinien und kritische Abmessungen unter 15 Nanometern auf Silizium und 3 Nanometern auf Galliumphosphid erzeugen. Es gibt auch zahlreiche Anwendungen für die Leistungselektronik, darunter Präzisionsätzen und Oberflächenreinigung, die jeweils eine bessere elektrische Leistung ermöglichen als die heute üblichen Verfahren.

AlixLabs hat sich zum Ziel gesetzt, führende Halbleiterhersteller sowohl im Logik- als auch im Speichersegment zu beliefern. Auf der SEMICON Japan wird das Unternehmen durch COO und F&E-Manager Amin Karimi im EU-Pavillon vertreten sein.

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