Okmetic, der führende Anbieter von hochentwickelten Siliziumwafern für die Herstellung von MEMS-, Sensor-, RF- und Leistungsbauelementen, gab heute die Einführung der Terrace Free SOI-Fähigkeit für seine 200 mm Bonded Silicon-On-Insulator BSOI- und E-SOI®-Wafer bekannt. Die terracefreien SOI-Wafer bieten Bauelementeherstellern eine maximale Nutzfläche und ermöglichen die Produktion von mehr Chips pro Wafer.
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Okmetic, der führende Anbieter von hochentwickelten Siliziumwafern für die Herstellung von MEMS-, Sensor-, RF- und Leistungsbauelementen, gab heute die Einführung der Terrace Free SOI-Fähigkeit für seine 200 mm Bonded Silicon-On-Insulator BSOI- und E-SOI®-Wafer bekannt. Die terracefreien SOI-Wafer bieten Bauelementeherstellern eine maximale Nutzfläche und ermöglichen die Produktion von mehr Chips pro Wafer.
Die Standard-SOI-Terrasse (Nicht-SOI-Fläche) ist ≤ 2 mm, so dass die Terrace Free SOI-Wafer eine deutliche Vergrößerung der aktiven Fläche um ca. 4 % bieten. Auch die Fixed Quality Area (FQA) erhöht sich um ca. 3 %, da der Randausschlußbereich von 4,5 mm auf 3,0 mm verringert wird.
Die Kante der terrassenfreien SOI-Wafer wird in optimaler Form abgeschrägt, um die Kompatibilität mit der nachfolgenden Verarbeitung der Bauelemente zu verbessern. Terrace Free SOI-Wafer können z.B. das Einspannen und die Handhabung der Wafer sowie das epitaktische Wachstum und die Lithografieprozesse einschließlich der Resistbeschichtung erleichtern.
"Die Motivation von Okmetic, terracefreie SOI-Wafer zu entwickeln, bestand darin, die Bedürfnisse der Kunden und der Industrie zu erfüllen. Um einen vollständig terracefreien SOI-Wafer herstellen zu können, musste Okmetic eine neue Art von optimierter Version des etablierten SOI-Prozesses entwickeln. Okmetic ist sehr froh, dass es in der Entwicklungsphase mit mehreren Pilotkunden zusammenarbeiten konnte. Diese Kunden gaben wertvolles Feedback zu den Prototypen des Terrace Free SOI-Wafers, was eine schnellere Entwicklungsphase ermöglichte und den anschließenden Produktionshochlauf erfolgreich machte. Mit der Einführung dieser Terrace Free SOI-Fähigkeit ist Okmetic nun bereit, Muster bereitzustellen und mit der Serienlieferung für ein breiteres Publikum zu beginnen", sagt Atte Haapalinna, Chief Technology Officer bei Okmetic.
Verfügbarkeit
Die Terrace Free SOI-Fähigkeit ist für 200 mm Bonded Silicon-On-Insulator BSOI- und E-SOI®-Wafer verfügbar, die eine optimale Plattform für die Herstellung von MEMS-, HF- und Leistungsbauelementen bieten. Für Verkaufsinformationen, Musterlieferungen und kundenspezifische Angebote wenden Sie sich bitte an Ihren regionalen Vertriebsmitarbeiter.
Über Okmetic
Okmetic wurde 1985 gegründet und ist der führende Anbieter von fortschrittlichen Siliziumwafern mit hoher Wertschöpfung für die Herstellung von MEMS-, Sensor-, HF- und Leistungsbauelementen. Okmetic verfügt über das umfangreichste Portfolio an 150- bis 200-mm-Wafern auf dem Markt, das umfassende Linien von Silicon-On-Insulator (SOI)-Wafern und hochresistiven RFSi®-Wafern sowie strukturierte Wafer, SSP- und DSP-Wafer, TSV-Wafer, Wafer für Leistungsbauelemente und Wafer für GaN-on-Si-Anwendungen umfasst.
Der Hauptsitz von Okmetic befindet sich in Finnland, wo auch der Großteil der Siliziumwafer des Unternehmens hergestellt wird. Die weltweite Vertriebsorganisation und der technische Support gewährleisten einen schnellen Service vor Ort, schnelles Prototyping und hoch optimierte Waferlösungen. Okmetic arbeitet mit Qualitäts- und Umweltsystemen, die den Normen ISO 9001:2015, ISO 14001:2015 und IATF 16949:2016 entsprechen.
Im Jahr 2021 belief sich der Nettoumsatz von Okmetic auf 128 Mio. EUR, aber das Unternehmen wird seine Kapazität und sein Geschäft zusammen mit seinen Mitarbeitern mehr als verdoppeln.
Weiterführende Links
www.okmetic.comFoto: Okmetic
