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ZfM der TU Chemnitz: Gründungsmitglied des Silicon Saxony feierte 35-jähriges Bestehen

14.10.2026. Mit einem Festakt und Festkolloquium feierte ein Gründungsmitglied des Silicon Saxony – das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien ZfM der Technischen Universität Chemnitz am 9. September 2026 sein 35-jähriges Bestehen.

Mit einem Festakt und Festkolloquium feierte ein Gründungsmitglied des Silicon Saxony – das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien ZfM der Technischen Universität Chemnitz am 9. September 2026 sein 35-jähriges Bestehen. Foto: ZfM der TU Chemnitz

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Forschung & Entwicklung·Halbleiter·Nachhaltigkeit·Nanoelektronik·Resilienz·Technologische Souveränität

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Sachsens Ministerpräsident Michael Kretzschmar betonte in seiner Rede: „Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien an der TU Chemnitz gehört zu den weltweit führenden im Bereich der Mikrosystemtechnologie und Nanotechnologie. Die hier seit dreieinhalb Jahrzehnten geleistete wertvolle Arbeit gemeinsam mit Partnern wie dem Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme hat mit dazu beigetragen, dass Sachsen heute Europas bedeutendster Mikroelektronikstandort ist.“

Vertreter der Technischen Universität Chemnitz, der Tohoku University in Japan, des IMEC, der Universität Schmalkalden sowie Firmenvertreter der Robert Bosch GmbH, Infineon Technologies und scia systems demonstrierten in ihren Beiträgen eindrucksvoll Entwicklungen der letzten Jahre und aktuelle Forschungsthemen.

Die Wurzeln der Mikrotechnologien in Chemnitz reichen dabei weit vor die Gründung des Zentrums für Mikro- Und Nanotechnologien zurück. Bereits in den 1970er- und 1980er-Jahren wurden an der damaligen Technischen Hochschule bzw. Technischen Universität Karl-Marx-Stadt wesentliche Grundlagen in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik gelegt. So entstand 1979 mit dem Technikum Mikroelektronik an der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt nicht nur ein Reinraum sondern auch ein Team, das bereits damals eng mit der Industrie an neuen Technologien in der Mikroelektronik arbeitete.

Bekannt ist das ZfM nicht nur für Entwicklungen der BEOL-Technologien – insbesondere der Kupfertechnologie wie sie heute im Metallisierungssystemen von ICs verwendet werden, sondern ebenfalls für die Technologieentwicklung für hochpräzise MEMS-Bauelemente, mikrooptische Bauelemente wie Fabry-Perot-Filter, aber auch für Nanodevices. Das ZfM leistet heute wesentliche Forschungsbeiträge im Bereich der 1D und 2D Nanomaterials (Carbon Natubes, Graphene), der Spintronik und Photonik, des Nanopackaging, bei der Entwicklung neuer Prozessmodule und Integration neuer Materialien, und engagiert sich für nachhaltige Mikroelektronik und Sensortechnik. Als Mitglied des FORLAB-Verbundes trägt das ZfM wesentlich zur Vernetzung der Mikroelektronik-Infrastruktur an den deutschen Universitäten sowie zur exzellenten Ausbildung von Nachwuchswissenschaftlern bei.

Der Direktor des ZfM, Prof. Dr. Harald Kuhn, betonte in seiner Ansprache, wie wichtig die Chancen und Herausforderungen des Zentrums für die Welt von morgen sind: „Mikro- und Nanotechnologie sind das Fundament moderner Innovationen in der heutigen Welt. In jeder Branche, in jedem Lebensbereich leisten sie einen unschätzbaren Beitrag, um Systeme smarter, besser und sicherer zu machen. Die Bedeutung dieser Technologie ist in den 35 Jahren seit Gründung des ZfM dramatisch gewachsen – und das war erst der Anfang!“

Vorbehaltlich der Zustimmung der Europäischen Kommission wird in den nächsten Jahren der 1979 in Betrieb genommene und 1995/96 rekonstruierte Reinraum durch einen neuen Reinraum ersetzt. So wird das ZfM seine Kompetenzen in den Bereichen der Mikro- und Nanotechnologien, insbesondere bei der nachhaltigen Mikroelektronik und Sensortechnik, weiter ausbauen. Die neue Infrastruktur schafft die Voraussetzung für Forschung und Technologieentwicklung auf Spitzenniveau und soll zugleich die Zusammenarbeit mit außeruniversitären Forschungseinrichtungen und Unternehmen intensivieren.

Einige Redner, aber auch Besucher des Symposiums gaben dem Jubilar gleich neue Aufgaben mit auf den Weg. So adressierte Frau Dr. Elisabeth Steimetz von der Europäischen Smart-Systems-Plattform EPoSS insbesondere die Entwicklung von marktfähigen Produkten aus der Forschung zu Quantentechnologien und die Beschäftigung mit autonomen Systemen. Sie betonte „Der Trend geht von Smart Systems zu Autonomous Systems, wie etwa bei Drohnen oder selbstfahrenden Autos.“

In den nächsten Jahren dürfen wir uns sicherlich auf eine Reihe neuer Forschungsergebnisse und Produktentwicklungen, die am ZfM in Kooperation mit Forschungseinrichtungen wie dem Fraunhofer ENAS und der Industrie entstehen, freuen.

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