Neues White Paper zeigt Forschungsprioritäten für den Umgang mit PFAS in der Halbleiterfertigung auf

PFAS (Per- und polyfluorierte Alkylsubstanzen) spielen heute eine wichtige Rolle in zahlreichen Fertigungsprozessen der Halbleiterindustrie – beispielsweise in der Lithografie, beim Plasmaätzen oder in Reinraumanwendungen. Gleichzeitig rücken die Stoffe aufgrund ihrer Umwelt- und Gesundheitsauswirkungen zunehmend in den Fokus europäischer Regulierungen.

Das White Paper macht deutlich, dass ein kurzfristiger Ersatz von PFAS in vielen Anwendungen derzeit technisch nicht möglich ist. Stattdessen plädieren die Autorinnen und Autoren für einen wissenschaftlich fundierten und innovationsorientierten Ansatz, der Forschung, Industrie und Politik zusammenbringt.

Im Mittelpunkt stehen drei zentrale Forschungsprioritäten:

• Verbesserte Erkennung und Überwachung von PFAS durch neue Mess- und Monitoringverfahren,
• Reduktion von Emissionen und Förderung der Kreislaufwirtschaft, unter anderem durch neue Recycling- und Aufbereitungstechnologien,
• Entwicklung und Validierung alternativer Materialien und Prozesse, um den Einsatz von PFAS langfristig zu minimieren.

Die Empfehlungen richten sich insbesondere an europäische Forschungs- und Förderprogramme und sollen dazu beitragen, zukünftige Innovationen im Halbleitersektor gezielt zu unterstützen. Ziel ist es, technologische Exzellenz, Nachhaltigkeit und Versorgungssicherheit gleichermaßen zu stärken.

Als Partner des EU-Projekts ALLPROS2029 bringt Silicon Saxony seine Expertise in die Arbeit der European Industrial Alliance on Processors and Semiconductor Technologies ein und unterstützt den Austausch zwischen Industrie, Forschung und Politik. Die Ergebnisse der Working Groups leisten einen wichtigen Beitrag dazu, wissenschaftliche Erkenntnisse in konkrete Handlungsempfehlungen für die europäische Halbleiterstrategie zu überführen.

Das White Paper bietet Unternehmen, Forschungseinrichtungen und politischen Entscheidungsträgern wertvolle Orientierung zu einem der derzeit wichtigsten Zukunftsthemen der europäischen Halbleiterindustrie.

Das vollständige White Paper steht auf der Website von ALLPROS2029 zum Download bereit.

Ansprechperson bei Silicon Saxony e.V.: 

Alesia Lässig

E-mail: alesia.laessig@silicon-saxony.de

Telefon: +49 351 8503 2924