imec: imec erhält das weltweit modernste EUV-System mit hoher numerischer Apertur

Heute gibt imec, ein weltweit führendes Forschungs- und Innovationszentrum für fortgeschrittene Halbleitertechnologien, die Ankunft des ASML EXE:5200 High-NA-EUV-Lithographiesystems bekannt – dem derzeit modernsten Lithographiewerkzeug. Mit diesem strategischen Meilenstein stärkt imec seine Position als Sprungbrett der Branche in das Ångström-Zeitalter und ermöglicht seinem globalen Partnerökosystem einen beispiellosen frühzeitigen Zugang zur nächsten Generation von Chip-Skalierungstechnologien.

Direkt integriert mit einer umfassenden Suite aus Strukturierungs-, Metrologie- und Materiallösungen wird das High-NA-EUV-System imec und seinen Partnern im Ökosystem die nötige Leistungsfähigkeit bieten, um Sub-2-nm-Logik sowie hochdichte Speichertechnologien zu entwickeln, die das schnelle Wachstum von fortschrittlicher KI und Hochleistungsrechnen vorantreiben werden.

Luc Van den hove, CEO von imec: „Die vergangenen zwei Jahre markierten ein wichtiges Kapitel für die High-NA-EUV-Lithographie (0,55 NA), in dem imec und ASML gemeinsam mit dem Ökosystem im gemeinsamen High-NA-EUV-Lithographie-Labor in Veldhoven (Niederlande) Pionierarbeit geleistet haben. Mit der Installation des EXE:5200 High-NA-EUV-Lithographiesystems in unserem 300-mm-Reinraum in Leuven (Belgien) wollen wir diese High-NA-EUV-Strukturierungstechnologien auf einen industrienahen Maßstab bringen und die nächsten Anwendungsfälle für High-NA-EUV entwickeln.

Seine unerreichte Auflösung, die verbesserte Overlay-Performance, der hohe Durchsatz sowie ein neuer Wafer-Stocker, der Prozessstabilität und Durchsatz verbessert, verschaffen unseren Partnern einen entscheidenden Vorteil bei der Beschleunigung der Entwicklung von Sub-2-nm-Chiptechnologien. Während sich die Branche in das Ångström-Zeitalter bewegt, wird High-NA-EUV eine Schlüsseltechnologie sein – und imec ist stolz darauf, eine Vorreiterrolle einzunehmen, indem wir unseren Partnern den frühesten und umfassendsten Zugang zu dieser Technologie bieten.“

Dieser Meilenstein ist ein zentraler Bestandteil der fünfjährigen strategischen Partnerschaft von imec mit ASML, unterstützt von der EU (Chips Joint Undertaking und IPCEI), der flämischen Regierung sowie der niederländischen Regierung.

Luc Van den hove: „Als integraler Bestandteil der EU-finanzierten NanoIC-Pilotlinie wird dieses System eine entscheidende Rolle dabei spielen, Europas Position als führender Standort für fortgeschrittene Halbleiter-Forschung und -Entwicklung in den kommenden Jahrzehnten zu stärken.“

Mit dem ASML EXE:5200 High-NA-EUV-Lithographiesystem im Reinraum von imec positioniert sich imec klar als die umfassendste Entwicklungsumgebung für fortschrittliche Strukturierungstechnologien. Die enge Zusammenarbeit im Ökosystem mit führenden Chip-Herstellern, Ausrüstungs-, Material- und Resistanbietern, Maskenherstellern sowie Metrologie-Experten ermöglicht es, Lernzyklen zu beschleunigen und die Prozessstabilität zu verbessern. So können modernste Strukturierungsverfahren für Logik- und Speichertechnologien der nächsten Generation entwickelt und demonstriert werden – und damit Durchbrüche erzielt werden, die die Zukunft von Advanced Computing und KI prägen werden.

Christophe Fouquet, CEO von ASML: „Die Installation des EXE:5200 bei imec markiert einen wichtigen Schritt in das Ångström-Zeitalter. Gemeinsam beschleunigen wir die Weiterentwicklung von High-NA-EUV für die nächsten Generationen fortschrittlicher Speicher- und Rechentechnologien.“

Imec erwartet, dass das EXE:5200 High-NA-EUV-Lithographiesystem bis zum vierten Quartal 2026 vollständig qualifiziert sein wird. In der Zwischenzeit bleibt das gemeinsame ASML-imec High-NA-EUV-Lithographielabor in Veldhoven in Betrieb und stellt die Kontinuität der High-NA-EUV-Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten für imec und seine Partner sicher.

Diese Pressemeldung ist in englischer Sprache erschienen und wurde automatisch übersetzt.

_ _ _ _ _
Über imec

Imec ist ein weltweit führendes Forschungs- und Innovationszentrum für fortschrittliche Halbleitertechnologien. Durch die Nutzung seiner hochmodernen F&E-Infrastruktur sowie der Expertise von mehr als 6.500 Mitarbeitenden treibt imec Innovationen in den Bereichen Halbleiter- und Systemskalierung, künstliche Intelligenz, Siliziumphotonik, Konnektivität und Sensorik voran.

Die fortschrittliche Forschung von imec ermöglicht Durchbrüche in einer Vielzahl von Branchen, darunter Computing, Gesundheitswesen, Automobilindustrie, Industrie, Unterhaltungselektronik, Luft- und Raumfahrt sowie Sicherheit. Über IC-Link begleitet imec Unternehmen entlang der gesamten Wertschöpfungskette von Chips – vom ersten Konzept bis zur Serienfertigung – und liefert maßgeschneiderte Lösungen, die auf die anspruchsvollsten Design- und Produktionsanforderungen zugeschnitten sind.

Imec arbeitet mit globalen Marktführern entlang der gesamten Halbleiter-Wertschöpfungskette zusammen sowie mit Technologieunternehmen, Start-ups, Hochschulen und Forschungseinrichtungen in Flandern und weltweit. Der Hauptsitz befindet sich in Leuven (Belgien); darüber hinaus betreibt imec Forschungsstandorte in Belgien, in ganz Europa, in den USA sowie in der GCC-Region und ist auf drei Kontinenten vertreten.

Im Jahr 2024 erzielte imec einen Umsatz von 1,034 Milliarden Euro.

_ _ _ _ _
Weiterführende Links

👉 Zur Originalmeldung

👉 https://www.imec-int.com/en