DAS Environmental Experts: ALCEA – für die integrierte NOx-Behandlung in Halbleiterfabriken

In Halbleiterfabriken konkurrieren zusätzliche Kapazitäten zur Emissionsminderung um den begrenzten und kostenintensiven Platz in der Subfab. Gleichzeitig sind Hersteller bestrebt, den Medienverbrauch, den Wartungsaufwand und betriebsbedingte Unterbrechungen zu reduzieren. ALCEA begegnet diesen Anforderungen mit einer hochintegrierten Architektur: Die Katalysatoreinheit wird direkt in den Abluftkanal integriert und benötigt damit keine zusätzliche Stellfläche in der Subfab. Die Lösung ist für die Nachrüstung bestehender Abluftsysteme konzipiert und kann nach verschiedenen NOx-erzeugenden Abgasbehandlungstechnologien eingesetzt werden.

Plasmagestützte Katalyse ohne Zugabe spezieller Prozessgase

ALCEA basiert auf der bewährten plasmagestützten Katalysatortechnologie von DAS Environmental Experts. Dabei entstehen reaktive Sauerstoffspezies (Reactive Oxygen Species, ROS), die Reaktionen an der Katalysatoroberfläche auslösen. Der Prozess wandelt NOx in höher oxidierte, wasserlösliche Stickstoffverbindungen um, die anschließend in einer nachgeschalteten zentralen Nassabgasreinigung entfernt werden können. Für den trockenen Oxidationsprozess müssen keine speziellen Gase zugeführt werden. Die eingesetzten Katalysatoren sind wiederverwendbar.

Abhängig von NOx-Konzentration, vorgelagerter Behandlung und Plasmaleistung verarbeitet ALCEA Volumenströme von bis zu 5.000 Standardlitern pro Minute und erreicht eine NOx-Reduktion von bis zu 95 Prozent. Die Leistungsaufnahme beträgt abhängig von der NOx-Konzentration bis zu 3,2 kW. Das System unterstützt bis zu zwei Katalysatorkanäle für Doppelsysteme oder zwei einzelne lokale Abgasreinigungsanlagen. Prozesskühlwasser, wiederverwendbare Katalysatoren sowie eine auf geringen Wartungsaufwand und kurze Stillstandszeiten ausgelegte Konstruktion unterstützen die Integration in den laufenden Fab-Betrieb.

ALCEA wurde in einem der weltweit führenden Halbleiter-Ökosysteme entwickelt und entstand in Zusammenarbeit mit dem Industrial Technology Research Institute (ITRI), Taiwans führendem Forschungsinstitut für angewandte Technologien. Das Engineering-Team von DAS Environmental Experts in Taiwan spielte bei der Entwicklung eine zentrale Rolle.

Das Projekt verbindet angewandte Forschung, industrielle Engineering-Expertise und die Nähe zu Halbleiterkunden. Zugleich erweitert es das Portfolio des Unternehmens für die Abgasbehandlung um eine kompakte DeNOx-Lösung zur Nachbehandlung von Verbrennungsabgasen, die sich sowohl für neue als auch für bestehende Fab-Installationen eignet.

Die Markteinführung auf der SEMICON Taiwan unterstreicht die Bedeutung der regionalen Teams von DAS Environmental Experts für kundenorientierte Innovation und lokale Wertschöpfung. Besucher können sich auf der SEMICON Taiwan 2026 über ALCEA sowie das umfassende Portfolio des Unternehmens für die Abgas- und Abwasserbehandlung informieren.

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Weiterführende Links

👉 www.das-ee.com  

Foto: DAS EE