Mikroelektronik

TU Chemnitz: 68 Millionen Euro für neuen Reinraum am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien der TU Chemnitz

2. September 2026. Der Freistaat Sachsen unterstützt den Strukturwandel in Südwestsachsen mit weiteren Millioneninvestitionen in Wissenschaft und Forschung. Eine der größten geplanten Investitionen ist der Bau eines neuen Reinraums für Forschung und Technologieentwicklung im Bereich nachhaltige Mikroelektronik und Sensortechnik am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZfM) der Technischen Universität Chemnitz. Für das rund 68 Millionen Euro teure Gebäude sollen nicht abgeflossene EU-Fördermittel eingesetzt werden. Vorbehaltlich der Zustimmung der Europäischen Kommission kann damit ein Vorhaben umgesetzt werden, das die Forschungsinfrastruktur der TU Chemnitz stärkt und neue Möglichkeiten für Kooperationen mit Forschungseinrichtungen und Unternehmen schafft. Dies teilte das Sächsische Staatsministerium für Wissenschaft, Kultur und Tourismus in einer am 25. August 2026 veröffentlichten Pressemitteilung mit.

Der geplante Neubau eines neuen Reinraums für die Forschung und Technologieentwicklung im Bereich nachhaltige Mikroelektronik und Sensortechnik am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz stärkt die Forschungsinfrastruktur an der Chemnitzer Universität und der Region Südwestsachsen. Foto: Jacob Müller

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„Wir sind absolut begeistert, dass in diesen haushaltspolitisch enorm angespannten und herausfordernden Zeiten der Bau des neuen Reinraums für Forschung und Technologieentwicklung im Bereich nachhaltige Mikroelektronik und Sensortechnik realisiert werden kann. Dabei handelt es sich um eine äußerst bedeutende Investition in die TU Chemnitz, insbesondere deren Kernkompetenz Materialien und intelligente Systeme, sowie die gesamte Region Südwestsachsen. Wir bedanken uns sehr herzlich bei der Sächsischen Staatsregierung, insbesondere bei Ministerpräsident Michael Kretschmer sowie Wissenschaftsminister Sebastian Gemkow, sowie allen weiteren Beteiligten für die großartige Unterstützung!“, sagt Prof. Dr. Gerd Strohmeier, Rektor der TU Chemnitz.

Mit dem geplanten Reinraum wird das ZfM seine Kompetenzen in den Bereichen der Mikro- und Nanotechnologien weiter ausbauen. Im Mittelpunkt stehen dabei Technologien für nachhaltige Mikroelektronik und Sensortechnik. Die neue Infrastruktur schafft die Voraussetzung für Forschung und Technologieentwicklung auf Spitzenniveau und soll zugleich die Zusammenarbeit mit außeruniversitären Forschungseinrichtungen und Unternehmen intensivieren.

„Der geplante neue Reinraum ist ein meilensteinartiger Impuls für das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien der TU Chemnitz. Durch diese zukunftsweisenden Investitionen kann unsere Forschung auf Spitzenniveau weiter ausgebaut und gestärkt werden. Die hochmoderne Infrastruktur ist eine immense Motivation für unsere Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter und wirkt zugleich als Magnet für internationale, hochkarätige Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler. Wir schaffen damit nicht nur beste Bedingungen für die Erforschung nachhaltiger Mikroelektronik, neuester Technologien im Bereich Quanten, Neuromorphics, Photonik sowie intelligenter Sensorik, sondern schlagen auch eine noch stärkere Brücke zwischen exzellenter Forschung und industrieller Anwendung. Als wichtiger Akteur in der Region tragen wir damit maßgeblich zur Wertschöpfung bei – wovon regionale Partnerinnen und Partner nachhaltig profitieren“, so Prof. Dr. Harald Kuhn, Inhaber der Professur für Smart Systems Integration an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der TU Chemnitz und Leiter des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS sowie Direktor des ZfM der TU Chemnitz.

Die geplante Investition ist Teil eines umfangreichen Maßnahmenpakets des Freistaats Sachsen zur Stärkung des Wissenschafts- und Forschungsstandorts Südwestsachsen. Dazu zählen 79 europäische Forschungsfördervorhaben (EFRE/JTF) im Technologiebereich Maschinen- und Anlagenbau mit einem Volumen von mehr als 80 Millionen Euro sowie Vorhaben für insgesamt über 200 Millionen Euro in der mittelfristigen Finanzplanung bis 2031.

Hintergrund: Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZfM)

Mit dem ZfM verfügt die TU Chemnitz über eines der weltweit führenden Forschungszentren für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologien. Es ist einer der technologischen Grundpfeiler der Industrieregion Südwestsachsen und unverzichtbarer Pfeiler von Silicon Saxony. Forschungsschwerpunkte sind unter anderem die Miniaturisierung von Systemen, Energieeffizienz, Leistungssteigerung bei reduziertem Ressourceneinsatz sowie die Integration mikro- und nanoskaliger Komponenten in komplexe Systeme.

Mikroelektronik ist die Basistechnologie für KI, Medizintechnik, autonome Systeme, Energie- und Mobilitätslösungen – und damit Fundament der industriellen Transformation. Mit über 120 deutschen und 49 europäischen Partnern wirkt das ZfM als globaler Entwicklungspartner der Industrie. Der geplante Neubau ist daher mehr als eine Baumaßnahme, er ist auch strategisch von erheblicher Bedeutung. Damit können über 300 hochqualifizierte Arbeitsplätze in Sachsen gesichert und ausgebaut werden.

(Quelle: u. a. Pressemitteilung des SMWK vom 25.08.2026)

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