Reticle Logistics Automation: Fabmatics & SCI liefern integrierte Lösungen für moderne Halbleiterfabriken

Die Lithografie ist der sensibelste und zugleich kapitalintensivste Bereich der Halbleiterfertigung. Reticles – auch als Fotomasken oder Masken bezeichnet – bilden das Herzstück des lithografischen Prozesses. Als Mastervorlagen für das Chipdesign gehören sie zu den wertvollsten Assets einer Fab. Dennoch wird ihr Management häufig unterschätzt.
Bei tausenden Fotomasken im Umlauf und bis zu 50 Belichtungsschichten pro Produkt bergen manuelle Prozesse erhebliche Risiken: Kontamination, Ineffizienz und teure Verzögerungen. Schon ein kleiner Kratzer oder eine Verwechslung kann unbemerkt ganze Wafer-Lose beeinträchtigen, bevor der Fehler entdeckt wird.

Um diese Herausforderungen zu meistern, haben Fabmatics und SCI ihre langjährige Reinraumexpertise gebündelt und eine vollständig integrierte Automatisierungslösung für die Reticle-Logistik entwickelt.

Automatisiertes Handling & Transport: HERO Scout

Der autonome mobile Roboter von Fabmatics sorgt für einen sicheren und effizienten Transport von Reticlebehältern in Reinraumumgebungen. Der garantiert eine kontaminationsfreie Handhabung und lässt sich nahtlos in 200mm- sowie 300mm-Fab-Infrastrukturen integrieren. Der Roboter be- und entlädt Lithografie-Tools und Lagersysteme und transportiert die Reticles zuverlässig zwischen den Stationen.

High-Density Lagerung & Retrieval: SCI Linear Stocker

Das automatisierte und skalierbare Lagersystem ermöglicht die sichere Aufbewahrung von bis zu 3.000 Reticle-Pods. Mit ISO-Klasse-4-Konformität, SEMI-Standard-Schnittstellen und vibrationsfreiem Transport gewährleistet der Linear Stocker maximale Verfügbarkeit und optimierte Materialflüsse.

Gemeinsam bieten beide Systeme eine Full-Stack-Lösung mit folgenden Vorteilen:

• Kontaminationsfreier Transport und Lagerung
• Pünktliche Verfügbarkeit der Reticles am Litho-Tool
  
• Zentrale Steuerung und MES-Integration
  
• ISO-konformes Design und SEMI-Standard-Schnittstellen
  
• Erhöhung des Durchsatzes und reduzierte Stillstandszeiten

Als Teil des Cleanroom Technologies-Segments innerhalb der bündeln Fabmatics und SCI ihre Expertise und Innovationskraft, um Halbleiterfabriken dabei zu unterstützen, Stillstandszeiten zu reduzieren, die Ausbeute zu steigern und Personalressourcen effizienter einzusetzen.

Erfahren Sie, wie Fabmatics und SCI die Automatisierung in der Lithografie neu definieren – mit integrierten Lösungen für die Reticle-Logistik und darüber hinaus.
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