Nanotech Digital GmbH

VON ARDENNE GmbH

Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) / Fraunhofer Technologiezentrum Halbleitermaterialien (THM)

ASML Germany GmbH

Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V.

Mitsubishi Chemical Europe GmbH

VAT Deutschland GmbH

DMOS GmbH

TU Dresden, Dresden Integrated Center for Applied Physics and Photonic Materials (IAPP)

Tokyo Electron Europe Limited – German Branch