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ProTec Carrier Systems GmbH
Zielmärkte
Elektrostatische Chucks·Thin glass·Transferable ElectroStatic Carrier (T-ESC)·wafers and foils handling and processing
Branchen
Mikro- / Nanoelektronik
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Birlenbacher Straße 19-21
57078 Siegen
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Vollautomatisierte Ladeeinheit ACU 3000
Gegründet in 2008 ist ProTec® Carrier Systems GmbH ein junges Unternehmen mit einer hochinnovativen und weltweit einzigartigen Technologie für das Fixieren und Handhaben von dünnen und ultradünnen Substraten. Das Unternehmen stellt eigene Anlagen her, entwickelt und produziert neue kundenspezifische mobile und stationäre elektrostatische Haltevorrichtungen. Eine speziell entwickelte Ladeeinheit ermöglicht darüber hinaus eine einfache Integration der Technologie in bereits bestehende Anlagen verschiedener Anlagenhersteller.
Hohe Bruchsicherheit erreicht mit Hilfe elektrostatischer Haltkraft, keine Verbiegung und keine Verwerfung
Mit Hilfe elektrostatischer Haltekraft können Substrate wie Glas, Halbleiter-Wafer und Folien mit einer Dicke von kleiner als 50 µm im Bereich der Display-, Plastic-Electronics-, Photovoltaik- und Halbleiterindustrie sicher fixiert, transportiert, gehandelt und prozessiert werden.
Im Gegensatz zu mechanischen Haltevorrichtungen oder Vakuum-Halterungssystemen können mobile und stationäre elektrostatische Halterungen bei Temperaturen bis 400°C und in Vakuumumgebung optimal eingesetzt werden. Durch deren Einsatz bieten sich folgende Vorteile:
• Vollflächige Klemmkraft
• Stufenlose Kraftregulierung
• Hohe Bruchsicherheit
• Keine Verbiegung und Verwerfung
• Keine Verschattung aktiver Fläche
• Homogener Temperaturtransfer zwischen Halterung und Substrat
• Substrat-Kühlung (BSGC) insb. im Vakuum
• Überkopfbeschichtung
• Adapterfunktion: Fixieren mehrerer Substrate auf einem Substrathalter
• “Sandwich Chucking” mit Masken
• Kundenspezifische Materialien, Formen und Abmessungen
