Freiberg Instruments GmbH

Produkte und Leistungen:

Freiberg Instruments entwickelt und produziert eine neuen Generation von zerstörungsfreien und kontaktlosen inline- Messgeräten für die Halbleiterindustrie und für Forschungseinrichtungen.
Diese Messtechniken ermöglichen erstmals die Messung elektrischer Parameter, wie Lebensdauer, Diffusionslänge und Beweglichkeit mit einer bisher nicht erreichten Empfindlichkeit. Damit kann bei hoher Ortsauflösung und hoher Messgeschwindigkeit selbst bei kleinsten Injektionsraten gemessen werden. Durch diese ungewöhnliche Kombination von Eigenschaften ist die Methode bestens für inline- Messungen geeignet.
Aufgrund der hohen Messempfindlichkeit ist es jetzt sogar möglich, dünne epitaktische Schichten, wie sie in der Chip- Produktion Anwendung finden, zu charakterisieren. Eine besondere Anwendung der Messtechnik ermöglicht die kontaktlose, zerstörungsfreie und topografische Untersuchung der Defekteigenschaften von Halbleitern.
Eine breite Palette unterschiedlichster Halbleitermaterialien kann charakterisiert werden. Die Untersuchungsmöglichkeiten erstrecken sich vom Ausgangsmaterial über Prozesse der Waferherstellung bis hin zu einer Vielfalt von Analysemöglichkeiten während der Chipproduktion bis schließlich zum fertigen Bauelement.