AIR LIQUIDE Electronics GmbH

Unser internationales Engineering-Team plant und konstruiert individuelle Gaserzeugungsanlagen sowie die dazugehörige Infrastruktur für Halbleiterhersteller. Dabei kommt das jahrelange Know-how in der Halbleiterindustrie zum Tragen – neben branchentypischen Kriterien achten wir bei der Umsetzung auf Wirtschaftlichkeit und höchste Standards hinsichtlich Sicherheit sowie Zuverlässigkeit. Unser Team übernimmt außerdem die Projektsteuerung beim fachgerechten Aufbau und der Installation der Gase-, Chemie- oder Mischsysteme.

Ob Sauerstoff, Stickstoff oder Argon – Unsere Spezialisten entwerfen individuelle Luftzerlegungsanlagen entsprechend der Anforderungen in der Halbleiterindustrie. Auch der fachgerechte Aufbau und fortlaufende Betrieb wird durch Air Liquide Electronics gewährleistet.

Bei der Herstellung von Halbleiterprodukten kommen spezielle Chemikalien zum Einsatz, die sich vor allem durch einen hohen Reinheitsgrad auszeichnen. Dazu zählen unter anderem hochreine Lösemittel. Wir stellen kundenspezifisch zusammengesetzte Prozess-Chemikalien her, die exakt auf die individuellen Anforderungen der jeweiligen Prozessanwendung ausgerichtet sind. Außerdem arbeiten wir fortlaufend an neuen Materialien (Precurser), die mit den Innovationen der Halbleiterindustrie – wie beispielsweise dem Miniaturisierungstrend – kompatibel sind, oder die speziell zur Lösung von Prozessproblemen in der Halbleiterindustrie angepasst werden.

Unser Expertenteam betreut unsere Kunden 24/7 vor Ort. Zu den Services gehören dabei nicht nur die regelmäßige Qualitäts- und Reinheitskontrolle sowie Füllstandsprüfung, Auffüllen der Gastanks, Flaschenwechsel und Instandhaltung. Wir entwickeln außerdem kundenspezifische Analysemethoden, übernehmen die Prozessvalidierung und geben Optimierungsempfehlungen.

In Zylindern, Bündeln oder Großgebinden produzieren wir weltweit Spezialgase für die Herstellung von Halbleiterprodukten. Wir wissen um die anspruchsvollen Qualitätsanforderungen hinsichtlich Reinheit und besonderer Mischverhältnisse. Deshalb unterziehen wir die Elektronik-Prozessgase einer detaillierten Qualitätsanalyse, bevor wir sie an unsere Kunden ausliefern.

In der Halbleiterproduktion kommen bei verschiedenen Prozessen auch Gefahrstoffe zum Einsatz. Die Lagerung auf dem eigenen Gelände ist nicht immer zulässig oder gewünscht. Air Liquide Electronics übernimmt die Lagerung der Spezialgase und Chemikalien. Die Kunden können ihren Bedarf Just-In-Time abrufen. Damit gewährleistet Air Liquide Electronics, dass die Halbleiterproduktion 24/7 und 365 Tage im Jahr sicher und zuverlässig mit den benötigten Prozessgasen versorgt wird. Durch die Nähe zu unseren Kunden in der Region Sachsen werden lange Lieferketten vermieden und Gas ist kurzfristig verfügbar.