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Adenso GmbH

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Automation Solutions·Cluster Systems·High Vacuum (HV)·Pre- and Post-Processing·Substrate Handling·Ultra High Vacuum (UHV)·Wafer Alignment·Wafer Handling·WHM WaferHandling.Module·WHR WaferHandling.Robot

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Über das Mitglied

Adenso entwickelt und liefert maßgeschneiderte Lösungen für das Substrathandling in Hochvakuum-Umgebungen. In den 25 Jahren der Unternehmensgeschichte hat Adenso über 200 Projekte für Kunden aus den Bereichen der Halbleitertechnik, Optik und Solarindustrie erfolgreich realisiert. Alle Produkte von Adenso werden in und um Dresden entwickelt und hergestellt und sind vollständig Made in Germany.

http://www.adenso.solutions/

Substrathandling für Hochvakuum-Umgebungen

Die modulare VAC.ROBOTICS Plattform ermöglicht es Adenso Kunden, individuell angepasste komplexe Cluster-Systeme für ihre Prozesse zu konfigurieren:

  • Individuell konfigurierbare WHM WaferHandling.Module mit vier bis acht verfügbaren Process.Ports
  • Adenso WHR WaferHandling.Robots bieten maximale Traglasten und extreme Reichweiten
  • Handling.Module ermöglichen die Prozessskalierung von Laborumgebungen bis zu industriellen Anlagen
  • Alignment.Module richten aus, drehen oder tauschen Substrate und Carrier vor oder nach dem Prozess
  • Processing.Module bieten Vor- und Nachbearbeitungsoptionen wie Heizen, Kühlen und präzise Druckkontrollen
  • das Cluster-Betriebssystem von Adenso adCONTROL ist objekt- und ereignisorientiert, unabhängig von der SPS-Hardware, und flexiblel hinsichtlich Feldbus-Schnittstellen
  • Adenso.ToolCloud bietet standortunabhängiges Anlagenmonitoring

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