Fabmatics stellt Box Opening Transfer Unit für boxbasierte 200‑mm‑Halbleiterfabriken vor

Das Automatisierungssystem adressiert eine zentrale Herausforderung vieler bestehender 200 mm Fabs: die Schnittstelle zwischen geschütztem Box Transport und dem kontrollierten Handling offener Waferkassetten im Umfeld der Toolbeladung.

In boxbasierten 200 mm Fabs müssen HA200 Boxen sicher und geschlossen durch die Fertigung transportiert werden, während für die Prozessschritte an den Tools offene Kassetten erforderlich sind. Genau für diesen Übergabepunkt wurde die Box Opening Transfer Unit entwickelt.

Sie öffnet HA200 Boxen direkt auf dem Transportsystem und übergibt die Waferkassette in einer definierten, reproduzierbaren Übergabesituation an nachgelagerte Handling oder Toolbeladungssysteme. Die Box selbst verbleibt vollständig im Conveyor. Dadurch entsteht eine klar abgegrenzte funktionale Trennung zwischen Transport und Carrier Handling – ohne manuelle Eingriffe.

Ein wesentlicher Vorteil dieses Konzepts liegt in der Integrationsfähigkeit in bestehende Fab Layouts. Statt etablierte Transportstrukturen zu ersetzen, kann die Box Opening Transfer Unit gezielt ergänzt werden. Lokale Speicherflächen im Toolumfeld entfallen, der Materialfluss bleibt durchgängig und reproduzierbar.

Der Fokus liegt dabei nicht auf dem Öffnungsprozess selbst, sondern auf einer stabilen Übergabesituation. Diese reduziert das Risiko von Partikelkontaminationen und mechanischen Einflüssen und leistet einen wichtigen Beitrag zur Prozesssicherheit in klassischen 200 mm Fabs.

Use Case: Automatisiertes Testwafer Management in Box‑basierten 200‑mm‑Fabs

Ein typischer Anwendungsfall ist die automatisierte Übergabe an das Fabmatics Test Wafer Center (TWC). Durch die direkte Übergabe offener Kassetten aus dem Transportsystem lassen sich Identifikation, Sortierung und Bereitstellung von Testwafern vollständig automatisieren. Damit entsteht ein geschlossener Prozess von der Boxöffnung bis zur Testwafer Logistik, der bislang in vielen Bestandsfabriken nicht realisierbar war.

Mit der Box Opening Transfer Unit erweitert Fabmatics sein Portfolio um einen zentralen Baustein für die schrittweise Automatisierung bestehender 200 mm Fabs.

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