Ausgezeichnet: Hochreine, automatisierte Waferlagerung auf engstem Raum

Der Robotics Award wird von Stäubli Robotics, dem weltweit führenden Unternehmen im Bereich der Industrieautomation, alle zwei Jahre im Rahmen ihres Partner Summit verliehen. Das Unternehmen ehrt mit dieser Auszeichnung besonders innovative Roboterlösungen auf dem Automatisierungssektor.

In diesem Jahr durften wir uns über diese besondere Ehrung für unser vollautomatisches Lagersystem für Wafer – den CubeStocker – freuen. Die Fabmatics-Konstrukteure integrierten bei der Umsetzung der innovativen Anlage den sechsachsigen Stäubli-Reinraumroboter TX2-90XL in Super Cleanroom (SCR) Ausführung. Er erledigt hier anspruchsvolle Handhabungsaufgaben und sorgt für präzises Handling der wertvollen Fracht.

Unsere Geschäftsführer Dr. Roland Giesen und Dr. Andreas Purath nahmen am Abend des 19. Oktober 2023 auf Schloss Philippsruhe in Hanau voller Freude und Stolz den Robotics Award entgegen:

v.l.r.: Johannes Seitz, Area Sales Manager General Industry STÄUBLI Robotics, Dr. Roland Giesen, Geschäftsführer Fabmatics GmbH & Dr. Andreas Purath, Geschäftsführer Fabmatics GmbH | Bildquelle: Stäubli

„Es ist uns eine große Ehre, den diesjährigen Robotics Award für unseren CubeStocker zu erhalten. Die vertrauensvolle und professionelle Zusammenarbeit mit Stäubli schätzen wir sehr. Wir nutzen die Roboter von Stäubli bereits seit vielen Jahren auch in anderen Automatisierungslösungen. Sie entsprechen im höchsten Maße unseren Anforderungen an Reinheit, Zuverlässigkeit und Präzision und genießen bei unseren Kunden hohe Akzeptanz.“

Der CubeStocker: Präzision, Partikelfreiheit und 100 % Sicherheit

Der CubeStocker wurde von Fabmatics als bodengestütztes vollautomatisches Lagersystem für offene 200mm Wafer-Carrier entwickelt.

Geforderte Aufgabe

• Realisierung einer reinraumgerechten, vollautomatischen Lagerlösung mit hoher Packungsdichte auf kleiner Stellfläche für offene Waferkassetten
• Anbindung des Systems an ein bestehendes Transportsystem
• Direkter Zugriff zu jeder Zeit auf jede eingelagerte Kassette (random access) ermöglichen
• Vollautomatisierte Ein- und Auslagerung des Materials

Herausforderungen

• Gewährleistung der Reinraumumgebung der Klasse ISO 3 sowohl bei der Lagerung als auch beim Handling
• Schnelle Zugriffszeiten
• Ausnutzung der gesamten Raumhöhe vom Boden bis zur Decke und dabei jeden einzelnen Lagerplatz erreichen

Lösung: Hochreine 360° Lagerung von Waferkassetten im CubeStocker

• „Lagerschrank“ mit Lagerplätzen auf allen vier Innenseiten vom Boden bis zur Decke (insgesamt rund 200 Plätze)
• In der Mitte ein Roboterportal bestehend aus dem Stäubli 6-Achs-Roboter TX2-90XL in Super-Cleanroom-Ausführung, der auf zwei Linearachsen gehoben oder gesenkt wird, während er sich bewegt
• Eigene Reinraumatmosphäre durch eingebaute Filter Fan Units

Der CubeStocker bietet damit eine einzigartige Kombination aus kompaktem Bauraum, guter Integration in die Prozesse und integrierter Reinraumatmosphäre.

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