11. März 2025. Am 11. März gaben ASML Holding N.V. (ASML) und imec, ein führendes Forschungs- und Innovationszentrum für Nanoelektronik und digitale Technologien, bekannt, dass sie eine neue strategische Partnerschaftsvereinbarung unterzeichnet haben, die sich auf Forschung und Nachhaltigkeit konzentriert.
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Die Vereinbarung hat eine Laufzeit von fünf Jahren und zielt darauf ab, durch die Zusammenführung des Wissens und der Expertise von ASML und imec wertvolle Lösungen in zwei Bereichen zu liefern. Erstens sollen Lösungen entwickelt werden, die die Halbleiterindustrie voranbringen, und zweitens sollen Initiativen entwickelt werden, die sich auf nachhaltige Innovation konzentrieren.
Die Zusammenarbeit umfasst das gesamte Produktportfolio von ASML, wobei der Schwerpunkt auf der Entwicklung von High-End-Knoten liegt, wobei ASML-Systeme wie 0,55 NA EUV, 0,33 NA EUV, DUV-Immersion, YieldStar-Optikmesstechnik und HMI-Einzel- und Mehrstrahltechnologien zum Einsatz kommen. Diese Tools werden in der hochmodernen Pilotlinie von imec installiert und in die von der EU und Flandern finanzierte NanoIC-Pilotlinie integriert, wodurch dem internationalen Halbleiter-Ökosystem die fortschrittlichste Infrastruktur für Forschung und Entwicklung im Sub-2-nm-Bereich zur Verfügung gestellt wird. Zu den Schwerpunkten der Forschung und Entwicklung werden auch Siliziumphotonik, Speicher und fortschrittliche Verpackung gehören, wodurch umfassende Innovationen für zukünftige halbleiterbasierte KI-Anwendungen in verschiedenen Märkten ermöglicht werden.
Ein neuer Bereich der Zusammenarbeit besteht in einem bedeutenden Beitrag zur Finanzierung innovativer Ideen und Aktivitäten im Forschungstrichter von imec, die ökologische und gesellschaftliche Vorteile bringen.
Christophe Fouquet, Präsident und CEO von ASML, kommentiert: „Diese Vereinbarung markiert den nächsten Schritt in der langjährigen Zusammenarbeit zwischen ASML und imec. Sie signalisiert unsere gemeinsamen Ambitionen, Lösungen für die Halbleiterindustrie zu entwickeln, und passt zu unserer Strategie, in Technologie und Innovation zu investieren, die der Gesellschaft insgesamt zugutekommen werden.“
„Wir freuen uns, unsere langjährige einzigartige Partnerschaft mit ASML fortzusetzen und der Branche seit über 30 Jahren Zugang zu den fortschrittlichsten Musterlösungen zu bieten“, erklärt Luc Van den hove, Präsident und CEO von imec. „Durch die Einbeziehung des gesamten Produktportfolios von ASML können wir die Fähigkeiten unserer Pilotlinie erweitern und weiter ausbauen und dem gesamten Halbleiter-Ökosystem die fortschrittlichste Forschung und Entwicklung zur Verfügung stellen, um die Herausforderungen des KI-gesteuerten technologischen Fortschritts zu bewältigen. Da imec einen starken Fokus auf nachhaltige Innovation legt, ist es eine großartige Ergänzung, dass dies ausdrücklich in unsere Partnerschaft aufgenommen wurde.“
Die Investition von ASML in die Partnerschaft wird durch Mittel ergänzt, die vom Chips Joint Undertaking und der flämischen Regierung (für die Realisierung der EU-Chips-Act-NanoIC-Pilotlinie) sowie von der niederländischen Regierung (als wichtiges Projekt von gemeinsamem europäischem Interesse) bereitgestellt werden.
Die Anschaffung und der Betrieb der NanoIC-Pilotlinie werden gemeinsam vom Chips Joint Undertaking über die Programme „Digital Europe“ (101183266) und „Horizon Europe“ (101183277) der Europäischen Union sowie von den teilnehmenden Staaten Belgien (Flandern), Frankreich, Deutschland, Finnland, Irland und Rumänien finanziert. Weitere Informationen finden Sie unter nanoic-project.eu.“
Die Bereitstellung der 0,55-NA-Technologie bei imec war Teil des Next Gen-7A-Projekts (IPCEI22201), das von der niederländischen Regierung als wichtiges Projekt von gemeinsamem europäischem Interesse (IPCEI) finanziert wurde. Weitere Informationen finden Sie unter IPCEI ME/CT.
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