AlixLabs: AlixLabs und VDL ETG Projects kündigen Absichtserklärung zur Industrialisierung der APS™-Patterning-Technologie an

AlixLabs AB, ein Halbleiter­ausrüster mit Schwerpunkt auf Innovationen im Atomic Layer Etching (ALE), gab heute bekannt, dass das Unternehmen eine Absichtserklärung (Memorandum of Understanding, MoU) mit VDL ETG Projects, einem Unternehmen der VDL Groep, unterzeichnet hat, um die Produktion von APS™- (Atomic Pitch Splitting) Anlagen voranzutreiben.

Die Vereinbarung markiert einen wichtigen Schritt in Richtung Industrialisierung der APS™‑Technologie von AlixLabs und ermöglicht skalierbare Fertigungslösungen für fortschrittliche Halbleiter-Patterning‑Prozesse.

APS™ wurde entwickelt, um zentrale Herausforderungen der nächsten Generation der Halbleiterfertigung zu adressieren, indem durch Atomic Layer Etching präzises Pitch Splitting ermöglicht wird. Dieser Ansatz bietet eine kosteneffiziente und energieoptimierte Alternative zu zunehmend komplexen Multi-Patterning‑Prozessen und EUV‑basierter Lithografie.

Im Rahmen des MoU wird VDL ETG Projects eine Schlüsselrolle bei der Entwicklung und Herstellung der industriellen APS™‑Werkzeuge übernehmen – basierend auf der eigenen Expertise in Systemintegration und Hightech‑Equipmentfertigung. Die Zusammenarbeit zielt darauf ab, APS™ von der F&E‑Phase in robuste, produktionsreife Systeme für Halbleiterfabriken zu überführen.

„Dieses MoU stellt einen wichtigen Meilenstein für AlixLabs dar, da wir uns vom Technologiestadium hin zur industriellen Umsetzung bewegen“, sagte Jonas Sundqvist, CEO von AlixLabs. „Die Partnerschaft mit VDL ETG Projects stärkt unsere Fähigkeit, APS™ zu skalieren und ein neues Patterning‑Paradigma in die Halbleiterindustrie einzubringen. Ihre Industrialisierungskompetenz ergänzt unsere Prozessinnovationen ideal.“

Sorin Stan, Senior Director für Emerging Technologies bei VDL ETG Projects, ergänzte:
„Die Implementierung der Forschungsergebnisse von AlixLabs in die Produktionsprozesse für fortschrittliche Halbleiterbauelemente wird zu Kostensenkungen und höheren Produktionsgeschwindigkeiten beitragen. Die Industrialisierung der derzeit für AlixLabs entwickelten APS™‑Erstgerätschaften wird eine wesentliche Rolle bei der Umsetzung der Next‑Node‑Strategien vieler ihrer Kunden spielen.“

Die Partnerschaft spiegelt das gemeinsame Ziel wider, innovative Patterning‑Technologien schneller in die Anwendung zu bringen und den Bedarf der Halbleiterindustrie nach nachhaltiger Skalierung zu unterstützen.

Über AlixLabs

Gegründet 2019 in Lund, Schweden, entstand AlixLabs als Spin-off der Universität Lund mit dem Ziel, eine kosteneffiziente und energieoptimierte Halbleiterfertigung zu ermöglichen, insbesondere für Logik- und Speicherbauelemente. AlixLabs verfügt über patentierte Anerkennungen für seine bahnbrechende APS™‑Technik, einen Prozess zur Nanostrukturierung durch Ätzen. Diese Methode ist in den USA, Taiwan und Europa patentiert. APS™ steht für „ALE Pitch Splitting“ und nutzt ALE (Atomic Layer Etching), eine plasmabasierte, zyklische Trockenätztechnologie.

Über VDL ETG Projects

Als Teil der niederländischen VDL Groep verfügt VDL ETG Projects über eine langjährige Erfolgsbilanz darin, innovative Unternehmen beim Übergang von der Machbarkeitsstudie über Design und Engineering bis hin zur Realisierung ihrer Anlagen zu unterstützen. Mit allen notwendigen Kompetenzen unter einem Dach skaliert VDL ETG Projects die Fertigung von Erstmustern über Serienfertigung bis hin zur schlüsselfertigen Implementierung komplexer Produktionslinien. Die VDL Groep ist ein in Eindhoven ansässiger Industriekonzern, 1953 gegründet und umfasst heute über 100 spezialisierte Unternehmen mit mehr als 14.000 Mitarbeitenden in 20 Ländern. Weitere Informationen: https://www.vdlgroep.com/en.

Diese Meldung wurde maschinell übersetzt.

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Weiterführende Links

👉 Zur Originalmeldung (ENG)
👉 www.alixlabs.com  

Foto: Alixlabs