Mobiler Roboter HERO Scout ermöglicht automatisierten Transport und Handhabung von Fotomasken in der Halbleiterfertigung.
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Mikroelektronik
Fabmatics präsentiert neuen Helden für den Reinraum
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Der HERO Scout von Fabmatics definiert das Reticle-Handling in der Halbleiterproduktion neu.
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Fabmatics, ein führender Anbieter von Automatisierungslösungen für die Halbleiterindustrie, stellt seinen neuesten autonomen mobilen Roboter (AMR) im Produktportfolio vor: den HERO Scout. Das innovative AMR wurde speziell für den flexiblen Transport und die sichere Handhabung von so genannten Reticle Pods entwickelt. In Reticle Pods werden hochwertige Fotomasken, die eine Schlüsselkomponente in der Herstellung von Mikrochips darstellen, transportiert.
Bewältigung der Herausforderungen in der Fotolithografie
Im hochkomplexen und investitionsintensiven Lithografie-Prozess der Halbleiterfertigung werden mittels Fotomasken feinste Mikro- und Nanostrukturen auf die lichtempfindliche Schicht auf der Waferoberfläche projiziert. Im gesamten Fertigungsprozess werden so bis zu 50 Lithografie-Ebenen erzeugt – ein aufwendiges und zeitintensives Verfahren, das eine bestimmende Grundlage für die zu fertigendenden Mikrochips darstellt.
Dieser Produktionsbereich stellt hohe Anforderungen an die Prozessführung, wie zum Beispiel Doppelbelichtungen, spezielle Maschinenzuweisungen und komplexe Zeitplanungen. Die Wafer müssen an den Belichtungsanlagen zum richtigen Zeitpunkt mit den richtigen Fotomasken (Reticles) zusammentreffen. Leerstand oder Wartezeiten an den wertvollen Lithografiemaschinen sind inakzeptabel. Der teuerste Bereich der Fabrik muss durchgehend und fehlerfrei laufen, um die Anlagen optimal auszulasten und maximalen Durchsatz zu erzielen.
Eine wichtige Rolle spielt dabei die Masken-Logistik, die parallel zur Wafer-Logistik völlig synchron und stabil funktionieren muss. Manuelles Handling von Fotomasken führt jedoch zu Ineffizienzen und Fehlern, die den gesamten Produktionsprozess beeinträchtigen. Zudem erschweren ergonomisch ungünstig platzierte Reticle Pod-Beladepunkte die Arbeit der Anlagenbediener und stellen ein zusätzliches Unfallrisiko dar.
Der Bedarf an Automatisierung
In einer Umgebung, in der Ausfälle und Wartezeiten nicht toleriert werden können, ist Automatisierung unverzichtbar. Der neue mobile Roboter HERO Scout erfüllt diesen Bedarf, indem er eine kontinuierliche, planungsgenaue und fehlerfreie Belieferung der Belichtungsanlagen sicherstellt und damit die Maschineneffizienz (Overall Equipment Efficiency – OEE) optimiert.
Der HERO Scout: Flexible Automatisierungslösung für Reticle Pods im Reinraum
Als neueste Ergänzung der etablierten HERO-Produktfamilie von Fabmatics definiert der mobile Roboter HERO Scout das Reticle-Handling in Halbleiter-Reinräumen neu. Ausgestattet mit einem hochsensiblen Cobot-Arm kann er das Be- und Entladen von Masken-Loadports in verschiedenen Höhen, auch in ergonomisch herausfordernden Positionen und unter beengten Platzverhältnissen, bewältigen.
Key Features und Benefits
- Cobot für flexibles Handling: Der Cobot-Arm des HERO Scout bietet höchste Flexibilität und sorgt für präzises und sicheres Handling von Reticle-Pods.
- Längste Reichweite in seiner Klasse: Mit einer Reichweite von 200 mm bis 1.700 mm bewältigt er die Beladung der Loadports mühelos – auch die üblicherweise sehr hoch gelegenen Loadports an Steppern .
- Kompakt und Reinraum-kompatibel: Als kleinster AMR seiner Art ist der HERO Scout für die Navigation in engen Räumen konzipiert und somit ideal für beengte Fabrikbereiche.
- Innovative Sensor- und Kameratechnologie: Ausgestattet mit 3D-Kameras zur Hinderniserkennung und -vermeidung arbeitet der HERO Scout sicher und autonom in sich verändernden Umgebungen.
- Ultra-sauberes Design: Zertifiziert nach ISO 2 / US FED 0.1 Reinraumstandards gewährleistet er kontaminationsfreie Operationen.
Steigerung der Effizienz
Der HERO Scout nutzt die in der HERO-Familie bewährte induktive On-the-fly-Ladetechnologie, um ladebedingte Pausenzeiten zu minimieren. Mit zwei Pufferplätzen für effizientes Swap-Handling und adaptiver Geschwindigkeitsregelung garantiert er sicheren und schnellen Transport verschiedener Reticle-Pods. Seine SLAM- und Auto-Teaching-Funktionen sorgen für eine schnelle Einrichtung und Anpassung an Veränderungen der Fertigungsumgebung, wodurch die für die Inbetriebnahme und Wartung benötigte Zeit ebenfalls auf ein Minimum reduziert wird.
Gewährleistung der Arbeitssicherheit
Der HERO Scout ist mit fortschrittlicher Sensor- und Kameratechnologie ausgestattet, um sicheren Betrieb in Umgebungen zu gewährleisten, in denen Menschen und Maschinen kollaborativ zusammenarbeiten. Sein sensibler Cobot-Arm und die Fail Safe over EtherCAT-Technologie (FsoE) erhöhen die Sicherheit, indem sie z.B. die Reaktionszeiten für Not-Aus-Befehle und andere Sicherheitsvorkehrungen verkürzen.
Fazit
Der HERO Scout definiert das Handling und den Transport von Reticle-Pods in der Halbleiterfertigung neu, indem er mehr Flexibilität, Sicherheit und Effizienz bietet. Mit seiner hochmodernen Technologie, seinem kompakten Design und robusten Funktionen ist der HERO Scout die ideale Lösung für Halbleiterfabriken, die ihre Reticle-Logistik sowie das -Scheduling im Lithografiebereich und die damit verbundene Maschineneffizienz auf ein neues Level heben möchten.
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