SONOTEC präsentiert metallfreie, berührungslose Durchflusssensoren auf der SEMICON West

Nach der erfolgreichen Premiere im letzten Jahr ist SONOTEC erneut auf der SEMICON West vertreten. Als Aussteller im Deutschen Pavillon präsentiert der Ultraschallspezialist seine hochpräzisen, metallfreien Durchflusssensoren und Luftblasendetektoren am Gemeinschaftsstand #1245.

Die kompakten und robusten Sensoren der SEMIFLOW-Serie ermöglichen eine zuverlässige Durchflussmessung von Chemikalien und anderen Flüssigkeiten, die innerhalb der Halbleiterfabriken für Transfer- und Verteilprozesse eingesetzt werden. Dank ihrer Clamp-On Bauweise messen die Sensoren berührungslos an starren Kunststoffschläuchen – ohne direkten Flüssigkeitskontakt. Dadurch wird das Risiko von Kontaminationen oder Leckagen eliminiert. Die Clamp-On Technologie eignet sich daher besonders für sensible Fertigungsprozesse in der Halbleiterindustrie.

„Bei der Halbleiterfertigung ist eine zuverlässige Kontrolle der Prozessflüssigkeiten entscheidend, um stabile Prozessbedingungen und eine gleichbleibend hohe Produktqualität sicherzustellen. Unsere berührungslose Ultraschalltechnologie ermöglicht eine präzise Durchflussmessung in Echtzeit, ohne mit dem Medium in Kontakt zu kommen“, betont Lotte Schutrak, International Sales Manager bei SONOTEC. „Nach unserer erfolgreichen ersten Teilnahme im vergangenen Jahr freuen wir uns darauf, erneut Kunden und Partner auf der SEMICON West zu treffen und gemeinsam zu eruieren, wie unsere Lösungen zur Durchflussmessung und Luftblasendetektion zu mehr Prozessstabilität und Effizienz beitragen können.“

Die Sensoren der SEMIFLOW CO.65-Serie messen zuverlässig abrasive, haftende, korrosive und hochreine Flüssigkeiten in branchenspezifischen starren Kunststoffrohren und -leitungen Die Ultraschalltechnologie ist verschleißfrei und berührungslos, wodurch der Wartungsaufwand entfällt. Das kompakte Gehäuse mit integrierter Elektronik erlaubt die Installation der Sensoren auf engstem Raum sowie die problemlose Integration in bestehende Prozessarchitekturen.

Für den Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen bietet SONOTEC den SEMIFLOW CO.66 PI Ex1 an. Der eigensichere Durchflussmesser ist für den Einsatz in Produktionsbereichen der Zone 1 gemäß den Anforderungen von ATEX und IECEx ausgelegt und ermöglicht eine zuverlässige Durchflussmessung auch unter anspruchsvollen Prozessbedingungen.

Die Ultraschallsensoren von SONOTEC sind in verschiedenen Größen für PFA-, PTFE- und andere Hartkunststoffschläuche erhältlich und bieten damit flexible Lösungen für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterprozessindustrie.

Treffen Sie SONOTEC vom 13. bis 15. Oktober 2026 am Stand #1245 im German Pavilion auf der SEMICON West in San Franscisco, USA.