Vakuumtechnik in der Halbleiterindustrie

Grundlagen der Vakuumtechnik

• Definition und Einteilung von Vakuumbereichen
• Physikalische Grundlagen: Druck, Gasgesetze und Teilchenverhalten
• Bedeutung von Vakuum in der Halbleiterfertigung
• Leckagen, Ausgasung und Kontamination

Vakuumerzeugung und Komponenten

• Übersicht über Pumpentypen für Vorvakuum und Hochvakuum
• Funktionsweise typischer Vakuumpumpen
• Ventile, Leitungen und Dichtungssysteme
• Aufbau typischer Vakuumanlagen in der Halbleiterindustrie

Vakuummessung und Prozesskontrolle

• Messverfahren und Drucksensoren
• Überwachung von Prozessen im Vakuum
• Einfluss von Messfehlern auf Prozess und Anlage
• Bewertung typischer Anlagenzustände

Praxis, Wartung und Fehleranalyse

• Betrieb und Wartung von Vakuumsystemen
• Lecksuche und Fehlerdiagnose
• Typische Störungen und deren Ursachen
• Sicherer Umgang mit Vakuumanlagen