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Netzwerkveranstaltung

Alumni-Event: Lithografie im Fokus 2.0 – Technologien von heute, Ansätze für morgen

Nach der erfolgreichen Auftaktveranstaltung im Juni mit rund 70 Teilnehmenden setzen die Silicon Saxony Alumni ihre Reise in die Welt der Mikrostrukturierung fort.
Am 25. August 2026 laden wir Sie herzlich in die Technischen Sammlungen Dresden ein, um aktuelle und zukünftige Entwicklungen der Lithografie zu beleuchten – einer Schlüsseltechnologie der modernen Halbleiterfertigung.

Die Veranstaltung knüpft an den Vortrag von Dr. Bernhard Kneer (Carl Zeiss SMT GmbH) zum Beitrag von ZEISS in der EUV-Lithografie an und bildet zugleich den Abschluss unserer Vortragsreihe zur Mikrostrukturierung. Freuen Sie sich auf spannende Einblicke von ausgewiesenen Experten, die sowohl etablierte Produktionsverfahren als auch innovative Zukunftskonzepte vorstellen.


Das erwartet Sie

Teil 1 (vorbehaltlich finaler Bestätigung)

193-nm-Lithografie in der Bauelementeproduktion

Rolf Seltmann, ehemaliger Lithografie Fellow bei Globalfoundries, gibt Einblicke in die technologischen Herausforderungen der 193-nm-Lithografie, präsentiert bewährte Lösungsansätze und zeigt typische Ergebnisse aus der Praxis der Halbleiterfertigung.

Teil 2

Atomic Pitch Splitting (APS) – Chancen, Herausforderungen und Potenziale einer neuen Mikrostrukturierungstechnologie

Jonas Sundqvist, CEO von AlixLabs, stellt den innovativen APS-Ansatz vor und zeigt auf, wie das Verfahren neue Möglichkeiten für die Strukturierung künftiger Technologiegenerationen eröffnen kann.


Warum Sie teilnehmen sollten

Lithografie ist und bleibt der Schlüssel zur Weiterentwicklung der Mikroelektronik. Die Veranstaltung bietet eine hervorragende Gelegenheit, aktuelle Technologien besser zu verstehen, neue Ansätze kennenzulernen und sich mit Fachkolleginnen und Fachkollegen aus dem Silicon Saxony Netzwerk auszutauschen. Ob Sie bereits tief in der Halbleiterindustrie verwurzelt sind oder sich für die technologischen Grundlagen kommender Innovationen interessieren – dieser Abend liefert wertvolle Einblicke und spannende Diskussionen.

📅 25. August 2026

🕔 17:00–19:00 Uhr

📍 Technische Sammlungen Dresden

Sichern Sie sich jetzt Ihren Platz und diskutieren Sie mit uns über die Zukunft der Mikrostrukturierung und Lithografie. Wir freuen uns auf Ihre Teilnahme!

Datum

25.08.2026 17:00
25.08.2026 19:00

Veranstaltungsort

Technische Sammlungen Dresden
Junghansstr. 1
01277 Dresden

Veranstalter

Silicon Saxony e. V.
https://silicon-saxony.de/

Ansprechpartner

Susann Irrgang
susann.irrgang@silicon-saxony.de

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