Unter der Leitung von Prof. Werner Hartmann wurde in AME/AMD eigenständig die erste Basistechnologie für die Herstellung integrierter Schaltkreise in der DDR ohne detaillierte technologische Informationen aus dem westlichen Ausland oder der UdSSR entwickelt und in die Fertigung überführt.
Exemplarisch für die umfangreiche, aktive und kreative Mitarbeit von Dr. Ralf Kempe seien hier nur einige seiner Leistungen und Ergebnisse genannt, die weitreichende Auswirkungen für die Entwicklung des AME bis ZMD sowie anderer Mikroelektronikbetriebe der DDR hatten:
- Aufbau und Inbetriebnahme der Labors für „Dotierung & mechanische Kristallbearbeitung“ bereits als „Reine Räume“ sowie Leitung der Entwicklung der entsprechenden technologischen Prozessschritte.
- Eigenständige Entwicklung einer Labortechnologie für die Herstellung polierter Siliziumscheiben aus Einkristallen des Spurenmetalle Freiberg (SMF), da die von dort ursprünglich bezogenen Scheiben nicht die erforderliche Qualität aufwiesen. Mit dieser Eigenproduktion von Siliziumscheiben wurde der AME/ AMD-Bedarf bis ca. 1975 gedeckt.
- Bildung und Leitung der zentralen Steuerung für den schnellen und kontrollierten Durchlauf der Si-Scheiben durch sämtliche technologischen Teilschritte des Bearbeitungsprozesses, als entscheidende Voraussetzung für eine systematische Basistechnologie-Entwicklung.
- Überführung der Labortechnologie zur Herstellung polierter Si-Scheiben nach SMF, wo sie zur dortigen Basistechnologie für die zukünftige Deckung des Scheibenbedarfes aller Halbleiterfertigungen in der DDR wurde.
- Nationalpreis Wissenschaft und Technik 2. Klasse im Kollektiv.
- Leitung der Überführung der AMD-Basistechnologie, einschließlich des ersten damit entwickelten integrierten Schaltkreises, in das Halbleiterwerk Frankfurt Oder (HFO). Beginn der Fertigung dort ab 1972.
- Mitarbeit an Vorbereitung, Aufbau und Inbetriebnahme des sog. „Blauen Hauses“ des AMD als 1. Versuchsfertigung für integrierte Schaltkreise unter produktionsnahen Bedingungen in der DDR und Überleitung der Basistechnologie aus den AMD-Labors dahin.
- Kommissarischer Leiter der AMD nach der Abberufung von Prof. Werner Hartmann, anschließend stellv. Leiter des IMD und Direktor für Forschung (F).
- Mit Bildung des Zentrums für Forschung und Technologie der Mikroelektronik Dresden (ZFTM) wird F als eigenständiges Direktorat aufgelöst und Dr. Ralf Kempe übernimmt die Koordinierung der Vorlaufforschung Mikroelektronik in der DDR zwischen ZFTM, der Akademie der Wissenschaften, Universitäten, Hochschulen und den Betrieben des Kombinates Mikroelektronik Erfurt. Anlässlich der Übernahme des ZFTM in das Kombinat Carl Zeis Jena wurde das ZFTM aufgelöst. Fortführung dieser Aufgabe im neuen Forschungszentrum Mikroelektronik Dresden (ZMD).
- Weiterführung dieser Aufgabe nach 1991 im fortbestehenden Zentrum Mikroelektronik Dresden (ZMD) bis zu seiner Pensionierung.
Mit diesem seinem Wirken war Dr. Ralf Kempe ein Wegbereiter, Gestalter und Entwickler der Mikroelektronik in Dresden von den ersten Tagen ihrer Entstehung an. Die Bedeutung dieser vollkommen neuen Technologie reichte weit über das damalige AME – ZMD hinaus, bis hinein in die verschiedensten Mikroelektronik- und Halbleiterbetriebe der DDR. Seine umfangreiche und kreative Mitarbeit an der Entwicklung der Mikroelektronik verhalf dieser Technologie zu einer überaus wesentlichen ökonomischen Säule in der DDR und trug insofern mit dazu bei, dass Dresden das „Herz“ eines „Silicon Saxony“ als bedeutendes europäisches Zentrum der Mikroelektronik wurde.
Dr. Manfred Lisec
langjähriger Kollege und Wegbegleiter Dr. Kempes
Dresden, 27.10.2025
Bei Herrn Hans Kempe, Sohn von Dr. Kempe, möchte ich mich für die Bereitstellung des Fotos seines Vaters bedanken und bei Herrn Dr. Andreas Kalz für seine wertvollen Hinweise zum Text.
Zusätzliche Informationen:
[1] Silicon Saxony – Die Story, Edition Dresden, 2006
[2] Arbeitsstelle für Molekularelektronik Dresden – Wikipedia:
https://de.wikipedia.org/wiki/Arbeitsstelle_f%C3%BCr_Molekularelektronik
