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Vistec Electron Beam GmbH
Mittlere Unternehmen (<250 Mitarbeiter:innen oder <50 Mio. Jahresumsatz)
Zielmärkte
Elektronik
Branchen
Maschinen & Anlagen·Vorgelagerte Industrie
Portfolio
Applikationen·Elektronenstrahl-Lithographie·Elektronenstrahl-Lithographie; Ebeam; Halbleitergeräteausrüstung·Equipment·Halbleiterindustrie·Lithography·Mikro- / Nanoelektronik
Zertifikate
Kontakt
Ilmstraße 4
07743 Jena
07743 Jena
+49 3641 7998 0
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Über das Mitglied
Als langjähriger Anlagenlieferant bietet die Vistec Electron Beam GmbH führende Technologielösungen für die moderne Elektronenstrahllithographie. Basierend auf dem Variable Shaped Beam (VSB)-Prinzip werden die Elektronenstrahl-Lithographiesysteme hauptsächlich für Halbleiteranwendungen und fortgeschrittene Forschung als Elektronenstrahl-Direktschreibverfahren in der Halbleiterfertigung, der Maskenherstellung sowie in der integrierten Optik und verschiedenen neuen Märkten eingesetzt.
Seit einiger Zeit werden Vistec's Variable Shaped Beam Systeme zunehmend als Direktschreibtechnologie für die Herstellung von Silizium- und Verbindungshalbleitern eingesetzt. Die Verwendung eines fortschrittlichen Elektronenstrahlschreibers im Mix-and-Match-Modus mit einem optischen Lithografiesystem hat sich als praktische und kostengünstige Lösung für diese Anwendungen bewährt. Speziell im Markt der Verbindungshalbleiterfertigung haben die Systeme von Vistec Electron Beam ihre Produktionsfähigkeit und hohe Systemzuverlässigkeit auch im 24/7-Betrieb durch zweistellige Fab-Installationen weltweit unter Beweis gestellt.
Die Wurzeln von Vistec Electron Beam reichen bis in die 1950er Jahre zurück, als das Unternehmen Teil von Carl Zeiss Jena war, wo das erste Elektronenmikroskop entwickelt wurde. Im Jahr 1974 wurde das erste kommerzielle Variable Shaped Beam System eingeführt. In ihrer heutigen Struktur ist die Vistec Electron Beam GmbH seit 1996 auf dem Markt tätig. Das Unternehmen ist eine hundertprozentige Tochtergesellschaft der Dr. Johannes Heidenhain GmbH. Derzeit beschäftigt das Unternehmen weltweit mehr als 100 Mitarbeiter. 80 % der Mitarbeiter haben einen Abschluss in Physik oder Technischen Wissenschaften und Ingenieurwesen.
Am Standort Jena (Bundesland Thüringen, Deutschland) profitiert das Unternehmen von den Synergien zwischen der Universität, führenden Forschungsinstituten, kleinen und mittelständischen Ausrüstungs- und Zulieferfirmen sowie wichtigen Halbleiterherstellern in der näheren Umgebung. Dies bietet hervorragende Voraussetzungen für eine erfolgreiche Produktentwicklung heute und in der Zukunft. Neben der Produktionsstätte in Deutschland unterhält Vistec Electron Beam Service- und Supportzentren in Europa, Taiwan und in den USA.
Seit einiger Zeit werden Vistec's Variable Shaped Beam Systeme zunehmend als Direktschreibtechnologie für die Herstellung von Silizium- und Verbindungshalbleitern eingesetzt. Die Verwendung eines fortschrittlichen Elektronenstrahlschreibers im Mix-and-Match-Modus mit einem optischen Lithografiesystem hat sich als praktische und kostengünstige Lösung für diese Anwendungen bewährt. Speziell im Markt der Verbindungshalbleiterfertigung haben die Systeme von Vistec Electron Beam ihre Produktionsfähigkeit und hohe Systemzuverlässigkeit auch im 24/7-Betrieb durch zweistellige Fab-Installationen weltweit unter Beweis gestellt.
Die Wurzeln von Vistec Electron Beam reichen bis in die 1950er Jahre zurück, als das Unternehmen Teil von Carl Zeiss Jena war, wo das erste Elektronenmikroskop entwickelt wurde. Im Jahr 1974 wurde das erste kommerzielle Variable Shaped Beam System eingeführt. In ihrer heutigen Struktur ist die Vistec Electron Beam GmbH seit 1996 auf dem Markt tätig. Das Unternehmen ist eine hundertprozentige Tochtergesellschaft der Dr. Johannes Heidenhain GmbH. Derzeit beschäftigt das Unternehmen weltweit mehr als 100 Mitarbeiter. 80 % der Mitarbeiter haben einen Abschluss in Physik oder Technischen Wissenschaften und Ingenieurwesen.
Am Standort Jena (Bundesland Thüringen, Deutschland) profitiert das Unternehmen von den Synergien zwischen der Universität, führenden Forschungsinstituten, kleinen und mittelständischen Ausrüstungs- und Zulieferfirmen sowie wichtigen Halbleiterherstellern in der näheren Umgebung. Dies bietet hervorragende Voraussetzungen für eine erfolgreiche Produktentwicklung heute und in der Zukunft. Neben der Produktionsstätte in Deutschland unterhält Vistec Electron Beam Service- und Supportzentren in Europa, Taiwan und in den USA.
Vistec Firmen und Produktbeschreibung
Die Vistec Electron Beam GmbH mit Sitz in Jena (Thüringen) ist ein weltweit agierendes Unternehmen der Halbleitergeräteausrüstungsbranche. Die Firma entwickelt, produziert, verkauft und betreibt Service von Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen, die überwiegend in der Halbleiterindustrie zum Einsatz kommen. Darüber hinaus werden die Anlagen auch im Bereich der angewandten Forschung und Integrierten Optik verwendet.
Elektronenstrahl-Lithographie hat sich aufgrund ihrer hohen Flexibilität & sehr hohen Auflösung als bevorzugte Technologie im Bereich Forschung & Entwicklung und für die Strukturierung von Masken für die Halbleiterindustrie seit vielen Jahren etabliert.
Darüber hinaus hat das Elektronenstrahl-Direktschreiben in den vergangenen Jahren auch für industrielle Anwendungen zunehmend an Bedeutung gewonnen.
Die Vistec Electron Beam GmbH hat eine mehr als 40 jährige Erfahrung auf dem Gebiet der Entwicklung und Herstellung von Elektronenstrahlbelichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Die Wurzeln der Firma gehen zurück auf Carl Zeiss Jena, einem weltbekannten Unternehmen der feinmechanisch-optischen Industrie. Bereits in den frühen 1970er Jahren erfolgte hier die Markteinführung der ersten, auf dem Prinzip des variablen Formstrahls basierenden kommerziellen Elektronenstrahl-Belichtungsanlage.
Seit dieser Zeit wurde die Technologie durch ein Team hoch qualifizierter & motivierter Mitarbeiter ständig weiterentwickelt, um den Anforderungen der führenden Halbeiterfirmen gerecht zu werden. Die Firma beschäftigt heute etwa 110 Mitarbeiter, Auszubildende und Praktikanten. Darüber hinaus werden ca. 150 hochqualifizierte Arbeitsplätze in der Region gebunden.
Mit Firmensitz in Jena (Freistaat Thüringen) profitiert die Vistec Electron Beam GmbH von der Nähe zur Friedrich-Schiller-Universität, zu verschieden Fraunhofer Instituten sowie zu einer Vielzahl von kleinen und mittelständischen Unternehmen. So haben sich über viele Jahre partnerschaftliche Beziehungen entwickelt; ein wesentlicher Faktor für den bisherigen Geschäftserfolg. Die Produktlinien umfassen ein 200mm Plattform Lithographiesystem (Vistec SB254) und ein 300mm Lithographiesystem (Vistec SB3050-2).
Vistec SB254
