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TU Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
Forschungseinrichtung
Zielmärkte
Dienstleistungen·Elektronik·Öffentliche Hand
Branchen
Forschung & Entwicklung·Materialien·Technologie
Portfolio
Atomic Layer Deposition (ALD)·Back End of Line Prozesse·Elektronik·Equipment·Halbleiterindustrie·Halbleitertechnik·Hochschulen·Mikro- / Nanoelektronik·Mikrosystemtechnik·Optoelektronische Bauelemente
Zertifikate
Kontakt
Nöthnitzer Straße 64
01187 Dresden
01187 Dresden
0351 463 35468
Ansprechpartner
Dr. Martin Knaut
Über das Mitglied
Das Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik wird von vier Professuren gebildet, die sich jeweils auf den Gebieten der Halbleitertechnik, der Mikrosystemtechnik, der optoelektronischen Bauelemente und Systeme und der Nanoelektronik den neuen Herausforderungen der fortschreitenden Miniaturisierung der Mikrosysteme und insbesondere dem Einsatz neuer Werkstoffe und Wirkprinzipien in der Nanotechnik widmen. Die gemeinsame Nutzung technologischer Ressourcen findet insbesondere im Reinraum des IHM seinen Ausdruck. Hier existiert ein umfangreiches Portfolio an silizium-basierten technologischen Prozessen. Die Kompetenzen der IHM-Mitarbeiter erstrecken sich von der Elektrotechnik über Physik und Werkstofftechnik bis hin zur Chemie.
Die Technische Universität Dresden besteht aus 14 Fakultäten
- Fakultät Mathematik und Naturwissenschaften (einschl. Psychologie)
- Philosophische Fakultät
- Fakultät Sprach- und Literaturwissenschaften
- Fakultät Erziehungswissenschaften
- Juristische Fakultät
- Fakultät Wirtschaftswissenschaften
- Fakultät Informatik
- Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik
- Fakultät Maschinenwesen
- Fakultät Bauingenieurwesen
- Fakultät Architektur
- Fakultät Verkehrswissenschaften „Friedrich List“
- Fakultät Forst-, Geo- und Hydrowissenschaften
- Medizinische Fakultät Carl Gustav Carus
einigen An-Instituten sowie den 2 Unternehmen der TU-Dresden-Gruppe: TUDIAS gGmbH für Ausbildung und GWT für Technologietransfer.
In Zusammenhang mit Silicon Saxony ist die Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik von besonderem Interesse. Sie verfügt über 12 Institute, die einen äußerst breiten Wissensbereich abdecken:
- Institut für Akustik und Sprachkommunikation (IAS)
- Institut für Automatisierungstechnik (IFA)
- Elektrotechnisches Institut (ETI)
- Institut für Elektrische Energieversorgung und Hochspannungstechnik (IEEH)
- Institut für Feinwerktechnik (IFWT)
- Institut für Elektronik-Technologie (IET)
- Institut für Biomedizinische Technik (IBMT)
- Institut für Grundlagen der Elektrotechnik/Elektronik (IEE)
- Institut für Nachrichtentechnik (IfN)
- Institut für Festkörperelektronik (IFE)
- Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
- Institut für Regelungs- und Steuerungstheorie (RST)
Blick in den Clean-Room
