evico GmbH

Supraleitende Magnetlager für Anlagenautomatisierung, Semiconductor- und Process Tools

Die evico GmbH mit Sitz in Dresden ist ein spezialisierter Technologieanbieter für supraleitende Magnetlager, Kryosysteme und Automatisierungslösungen. Das Unternehmen wurde 2004 als gegründet und hat seither eine einzigartige Kombination aus Werkstoffkompetenz, Kryotechnik und Vakuumtechnik aufgebaut.

Geschäftsfelder

Anlagenautomatisierung
evico entwickelt und baut supraleitende Magnetlagersysteme für die Industrieautomatisierung. Diese ermöglichen eine berührungslose Handhabung, Rotation und den Transport von Objekten – auch durch geschlossene Wandungen, Trennwände oder Vakuumkammern hindurch.

Semiconductor Tools
evico ist Experte für die Entwicklung von Anlagen und Komponenten für kryogene Prozesse in der Halbleiterfertigung. Die Kombination aus Kryotechnik, Vakuumtechnik und berührungsloser, supraleitender Lagerung eröffnet Lösungen für Prozessschritte, bei denen konventionelle mechanische Lager aufgrund von Partikelabrieb, Reibung oder Kontaminationsrisiken an ihre Grenzen stoßen.

Process Tools
evico realisiert zudem kundenspezifische, automatisierte Anlagen und Systemlösungen für anspruchsvolle Prozessumgebungen – von Laborkryostaten bis hin zu großmaßstäblichen Versuchs- und Transportanlagen.