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algorismic gmbh

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Stefanie Hammer

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Optimierung von Energieeffizienz und CO2-Fußabdruck in Halbleiter-Subfabs


Die algorismic GmbH bietet eine in der Halbleiter-Volumenproduktion erprobte Prozesstoolanbindung zur bedarfsgerechten Steuerung von Subfab-Geräten. Die intelligente Prozessanlagenkopplung mit Abatements und Pumpen (Active Tool Coupling) ermöglicht es, den CO2-Fußabdruck von Halbleiter-Subfabs auf der Grundlage von Energie- und Medieneinsparungen zu senken und gleichzeitig bestmögliche Einsparungen der Betriebskosten zu erzielen.

Ihre Vorteile:

  • CO2-Fußabdruck reduzieren
  • Medienverbräuche und Betriebskosten senken
  • Keine neue Hardware erforderlich
  • Nutzung vorhandener Subfab-Equipment-Schnittstellen

Unsere Lösung:
  

  • Subfab360 ATC ist ein Open Source basiertes Softwareprodukt
  • Komplette und abgeschlossene On-Premise Lösung
  • Herstellerunabhängig
  • Implementierung inkl. prozess- und applikationsspezifischer Sicherheitsbetrachtung


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