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Center for Microtechnologies
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Zertifikate
Kontakt
Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz
09126 Chemnitz
0371 / 531 24060
Ansprechpartner
Prof. Dr. Harald Kuhn
0371 531 33009
Direktor des ZfM, Professor für Smart Systems Integration
Über das Mitglied
Das Zentrum für Mikrotechnologien ist eine wissenschaftliche Forschungseinheit der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Technischen Universität Chemnitz. Es ist ein zuverlässiger Partner in der Grundlagenforschung, in FuE-Projekten sowie direkten Forschungs- und Entwicklungsaufträgen für die Industrie. Der derzeitige Fokus unserer Forschungsfelder liegt auf:
- 1D/2D Nanodevices
- MEMS Technologies and Devices
- Advanced Micro and Nano Patterning
- Spintronics and Interconnect Systems
- Simulations in Nano Technology
- Molecular-based micro and nano systems
- Photonics/MOEMS
- Nano-Packaging
- Miniaturized plasma systems
- Digital Twins in Semiconductor Production
Das Zentrum für Mikrotechnologien verfügt über Reinräume mit einer Fläche von ca. 1000 m2 (davon 300 m2 Reinraumklasse ISO 4) und der entsprechenden Ausrüstung für die Prozessierung und Charakterisierung von Wafern mit einem Durchmesser von 100 mm, 150mm und 200mm. Eine moderne und umfangreiche Infrastruktur mit Industrie-nahen Prozessen ermöglicht kleinste Strukturabmessungen bis zu 20 nm für die Nanostrukturierung.
Dienstleistungen:
- Entwicklung von Material-, Technologie- und Funktionsdemonstratoren
- Fertigung von Prototypen und Kleinserien
- Technologietransfer zu Kunden oder Foundries
- Ausbildung von Studenten und Promovenden
Mikro- und Nanotechnologien für MEMS/NEMS
Das Zentrum für Mikrotechnologien der Fakultät für Elektrotechnik/Informationstechnik der TU Chemnitz arbeitet an der Technologieentwicklung von MEMS, MOEMS und NEMS. Es arbeitet eng mit dem Fraunhofer ENAS zusammen, um gemeinsam komplexe Prozessketten zu realisieren. Die Einzelprozesse sowie die Technologieabläufe werden ständig weiterentwickelt und an neue Anforderungen angepasst.
