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POSAS GmbH
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93180 Deuerling
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Außerdem bieten wir Sensorprodukte zur Verbesserung der Gesamtanlageneffizienz (OEE) mittels Advanced Process Control (APC) an, wie z.B. den Piezocon-Konzentrationssensor zur präzisen Precursor-Zuführung, NDIR-Endpunktdetektoren für NF3-Reinigungen, CO2 ... und In-Situ-Wafer-Temperaturmessung.
Applied Precision, LLC Flow-Point-Controller und Upgrades werden ebenfalls für Europa abgewickelt.
Heute ist POSAS auch ein Spezialist für Inline-Überwachungssysteme der chemischen Zusammensetzung und physikalischen Eigenschaften von Nassprozessen, basierend auf IR- oder UV-Technologie, für die Halbleiter- und Solarindustrie.
Wir werden routinemäßig gebeten, technische Audits von Precursor-Delivery-Systemen sowie Dotierstoff-Delivery-Systemen in der FAB durchzuführen und spezifische Empfehlungen zur Verbesserung der Leistung der installierten Gas-Delivery-Systeme abzugeben, um eine engere Kontrolle der Precursor-Delivery zu erreichen, wie sie von einer anspruchsvolleren Prozesskontrolle gefordert wird, oder um eine kosteneffektivere Nutzung von Precursor-Chemikalien zu implementieren.
Auf der Grundlage der Continuous-Wave-Cavity-Ring-Down-Spektroskopie (CW-CRDS) bieten wir spezielle Spurenanalysatoren und Raumluftüberwachungsgeräte für eine Vielzahl von Spezies, darunter Feuchtigkeit, Ammoniak, Methan, Sauerstoff, Bromwasserstoff, Fluorwasserstoff, Chlorwasserstoff, Formaldehyd und mehr. Die Geräte arbeiten in einer Vielzahl von Matrizes, einschließlich toxischer, korrosiver und hydridischer Gase.
Wir bieten auch ein neues Dotierstoff-Misch- und Zufuhrsystem (DMDS) an, das die Kontrolle der Dotierstoffkonzentration verbessert und die Betriebskosten erheblich senkt.
POSAS is also a specialist for in-line monitoring systems of chemical composition, physical properties of wet processes based on IR or UV Technology and In Situ Wafer Temperature Measurement.

Ozone Instrumentation: sensors, analysers, calibrators, destruct units.

Based on Continuous Wave Cavity-Ring-Down-Spectroscopy (CW-CRDS), we offer dedicated trace analyzers for AMC, moisture, ammonia, methane, oxygen, hydrogen bromide, hydrogen fluoride, hydrogen chloride, formaldehyde, and more. The instruments work in a wide range of matrices, including toxic, corrosive, and hydride gases.

Piezocon-based concentration measurement
- more cost-effective use of precursor chemicals
- tighter delivery control improves performance
- the most sophisticated on-site dopant and precursor gas mixing and delivery systems available
