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MK Versuchsanlagen GmbH & Co. KG
Mittlere Unternehmen (<250 Mitarbeiter:innen oder <50 Mio. Jahresumsatz)
Zielmärkte
Dienstleistungen·Life Science·Maschinen & Anlagen
Branchen
Forschung & Entwicklung·Maschinen & Anlagen·Technologie
Portfolio
Anlagenbau·Beratung zur reinraumgerechten Konstruktion und Prozessgestaltung·Biotechnologie·Clean room planning·Cleanroom-Qualification·Cleanroom-Service·design and building of cleanrooms·Equipment·Evaluation and qualification of equipment and cleanrooms according to SEMI or GMP·Facilities·Halbleiterindustrie·Individuelle Reinraumlösungen·Material / Komponenten·Medizintechnik / Pharma·Mikro- / Nanoelektronik·Planung·Reinraum·Reinraumausstattung·Reinraumautomation·Reinraumbau·Service·Software·Spezial- & Sondermaschinenbau
Zertifikate
ISO 9001:2015
Kontakt
Stückweg 10
35325 Mücke-Merlau
35325 Mücke-Merlau
+49 6400 957 603-0
Ansprechpartner
Dr. Florian Kuhl
+496400957603326
Sales
Über das Mitglied
Seit 1988 stehen wir als familiengeführtes High-Tech-Unternehmen für Innovation, Präzision und modernste Technologien. Mit über 250 Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern entwickeln und fertigen wir in Deutschland maßgeschneiderte Laborsysteme, metallfreie Reinräume sowie hochspezialisierte Mess- und Prüfgeräte, die in Arbeitsbereichen mit Abfüllanlagen und Isolatoren zum Einsatz kommen.
Unsere Lösungen finden weltweit Einsatz bei führenden Unternehmen der Life-Science-, Pharma- und Halbleiter-/Optikindustrie sowie in renommierten Universitäten und Forschungseinrichtungen. Besonders unsere Expertise in der Ultra-Spuren-Analyse und der industriellen Automatisierung 4.0 macht uns zu einem Technologieführer in unserem Bereich.
Als High-Tech-Partner verbinden wir modernste Materialien mit zukunftsweisender Software- & Hardwaretechnologie. Wir liefern vollständig individuell angepasste Lösungen, die Maßstäbe setzen – immer mit Blick auf die Anforderungen der Zukunft sowie unseren Kunden.
MK Versuchsanlagen – Fortschritt durch High-Tech und Präzision.
MK Nasswerkbank: Innovatives Design für Präzisionsarbeit
In der Halbleiterindustrie sind metallfreie Anlagen Bestandteil vieler Prozess- und Produktionsanlagen. Mit den Anlagen von MK Versuchsanlagen fertigen wir individuell auf den Prozess konstruierte metallfreie Anlagen, die kundenbasiert entwickelt und konstruiert werden. Durch Laminarströmung im gesamten Arbeitsbereich wird hier zusätzlich das Arbeiten unter saubersten Bedingungen (z. B. in Reinraumklasse 3 (DIN EN ISO 14644) oder besser) ermöglicht. Durch die Steuerung von Zu- und Abluft liegt das Augenmerk hier auf gleichzeitigem Produkt- und Nutzerschutz. Typische Einbauten wie Reinigungsbecken, Ultraschallbecken oder Ätzbecken werden dabei nach Kundenmaßen in geeigneten Materialien gefertigt und flächenbündig, ergonomisch in die Anlagen eingebaut. Prozessequipment, wie zum Beispiel ein Spin Coater, kann dabei ebenfalls in die Werkbänke integriert werden.
Unsere metallfreie Nasswerkbank zeichnet sich durch Ihre modulare Bauweise aus und kann somit individuell auf Ihre Prozesse ausgelegt werden. Der Schutz von Produkt UND Nutzer steht für uns im Vordergrund. Produktschutz durch saubere, partikelfreie Arbeitsbereiche mit Reinraumklasse 3* oder besser und Personenschutz durch frontschiebergesteuerte Volumenströme** gewährleisten die Einhaltung dieser Ziele. Mit der Verwendung verschiedener inerter Kunststoffe erreichen wir ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit.
Steht gebäudeseitig nicht genügend Zuluftkapazität zur Verfügung, bieten wir Ihnen hier eine Variante mit integrierter Raumluftansaugung an.
Zur Senkung der Betriebskosten bieten wir ebenso eine Variante an, die über ein intelligentes Steuerungssystem den Energiebedarf senkt.
* Nach DIN EN ISO 14644
** Nach DIN EN 14175
MK Nasswerkbank
Quick Dump Rinse (QDR)-Becken
Nach der chemischen Behandlung von Wafern für Reinigungs-, Ätz- oder Abbeizanwendungen ist es wichtig, sämtliche Komponenten richtig abzuspülen, um chemische Rückstände zu vermeiden. Einmal aus dem chemischen Bad entfernt, ist die Waferoberfläche immer noch mit Chemikalien bedeckt, welche zu einem kontinuierlichen chemischen Prozess außerhalb des Bades führen. Dieser Prozess kann zu Überätzungen oder Ablösungen führen, die einen Produktionsausfall zu Folge haben. Um diese Probleme zu vermeiden, ist es notwendig, die Halbleiterplatten mit Dl-Wasser unter Verwendung einer schnellen Ablass oder einer Abschreckung richtig zu spülen.
Das Quick Dump Rinse (QDR)-Becken ist modular aufgebaut. Daher ist es möglich, das QDR-Becken in zwei separate Komponenten zu zerlegen und aus der Anlage zu entnehmen. Zusätzlichen Komfort bietet das Sprüh- und Ablasssystem, welches konzipiert ist, dass es gemeinsam mit dem Prozessbecken entnommen, gereinigt oder auch ausgewechselt werden kann.
MK Quick Dump Rinse
